Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239698 zu verkaufen
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ID: 9239698
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung zur Optimierung der Präzision, Geschwindigkeit und Ausbeute von mehrschichtigen Halbleiterherstellungsprozessen. Es nutzt fortschrittliche Projektionsbildgebung und patentierte Photon-Technologie, um Aluminiumätzen mit einer Auflösung von weniger als einem Mikron zu erreichen. Das System kann mehrere Schichten unterschiedlicher Dicke behandeln, indem es eine hochauflösende Optik verwendet, um eine Photolackschicht bis auf das Substrat zu belichten. Das Belichtungsverfahren verwendet zwei Laserstrahlen unterschiedlicher Wellenlänge, einen für isotrope und einen für anisotrope Ablation. Das Gerät wurde mit einer verbesserten Schichtdickensteuerung konfiguriert, die eine erhöhte Mustergenauigkeit und geätzte Oberflächenqualität ermöglicht. Es verfügt auch über eine partikelfreie Umgebung während seines Betriebs, um die dielektrische Integrität zu gewährleisten und jede Möglichkeit einer Kontamination zu vermeiden. Darüber hinaus ist eine spezielle Fernverwaltungsmaschine mit TEL- MARK7 für optimale Steuerung und Überwachung enthalten. Dies ermöglicht es Benutzern, Maschineneinstellungen in Echtzeit zu überwachen, zu optimieren und anzupassen, wodurch der Bedarf an manuellen Prozessen reduziert wird. Das Werkzeug kann auch automatisiert werden, um die verschiedenen Prozesse schneller und genauer durchzuführen. Schließlich integriert TOKYO ELECTRON MARK-7 in die bestehende Datenbankinfrastruktur des Kunden, um schnelle, wiederholbare Photolackvorgänge mit minimalen Ausfallzeiten zu ermöglichen. TEL MARK-7 bietet eine ideale Lösung für die hochpräzise, leistungsstarke Fertigung von integrierten Schaltungschips. Es verfügt über eine kompakte Bauweise, niedrige Betriebskosten, Prozesskontrollsicherungen und eine strenge Qualitätskontrolle. Der Einsatz der neuesten Projektionsbild- und Pattered Photon-Technologie in Kombination mit automatisierten Steuerungen macht TEL Mark 7 zum führenden Photoresist-Asset auf dem Markt. Mit seiner verbesserten Schichtdickensteuerung, der partikelfreien Umgebung und dem automatisierten Prozessmanagement ist Mark 7 die ideale Wahl für höchste Photolackanwendungen.
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