Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239700 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die Elektronenstrahl-Lithographie entwickelt wurde, um die Herstellung integrierter Schaltungen und anderer mikroelektronischer Komponenten zu unterstützen. Das System umfasst eine spezialisierte Strahlablenkeinheit, um Substrate durch die Lieferung energiereicher Elektronen in begrenzten Bereichen präzise zu belichten. Dies bietet ein lokalisierteres und intensiveres Spannungsprofil als herkömmliche Belichtungstechniken, was eine verbesserte Musterkontrolle ermöglicht. TEL MARK7 enthält eine fortgeschrittene Ionenquelle mit Fokussierspulen, die dafür sorgt, dass der Strahl auf eine kleine Punktgröße konzentriert wird, wodurch die Chance auf Streuelektronen reduziert und die effektive Spannung auf eine kleine Fläche verteilt wird. Darüber hinaus verwendet die Maschine einen speziell entwickelten Elektronendeflektor, um eine vollflächige Abtastung mit verbesserter Funktionsdefinition und Abscheidungssteuerung zu ermöglichen. Kombiniert ermöglichen diese Komponenten eine schnelle Elektronenstrahlverarbeitung mit hoher Auflösung bis zu 0,1 Mikrometer. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON MARK-7 über eine programmierbare Plasmaquelle und Temperaturregelung, die eine präzise Zuführung von wärmeaktiviertem Photoresist oder anderen EPIL-Materialien in das interessierende Gebiet ermöglicht. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Abdeckung des Substrats auch dann, wenn der Elektronenstrahl Energie über mehrere Belichtungen aufbringen muss. Schließlich ist das TEL Mark 7-Werkzeug mit einem integrierten optischen Mikroskop ausgestattet, um das belichtete Substrat zu inspizieren. Dadurch werden blinde Flecken eliminiert und die Genauigkeit der Verarbeitung gewährleistet. Darüber hinaus wird ein automatisches Stufenausrichtungsmodell verwendet, um sicherzustellen, dass der Strahl immer entschärft und von dem zu inspizierenden Teil ferngehalten wird, wodurch er sicherer zu bedienen ist. Mit all diesen Eigenschaften ist MARK-7 eine branchenführende Photoresist-Ausrüstung für die Elektronenstrahl-Lithographie, die sowohl Genauigkeit als auch Sicherheit für die Verarbeitung von mikroelektronischen Komponenten bietet.