Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239701 zu verkaufen
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ID: 9239701
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 Photoresist ist ein Hightech-Photolithographiesystem für Halbleiterherstellungsprozesse. TEL MARK7 ist in der Lage, eine Vielzahl von Photoresists mit extrem präzisen Auflösungen zu strukturieren und zu belichten und wird in mehreren fortgeschrittenen Stufen der Halbleiterherstellung eingesetzt. Im Zentrum der TOKYO ELECTRON MARK-7 Maschine steht das ALTUS Exposure Tool, das eine Auswahl an Lasern und Halogenlampen bietet, um Photoresists verschiedener Typen und Empfindlichkeiten zu belichten. Ebenfalls enthalten ist ein erweiterter Bereich der hochauflösenden Ausrichtung und Inspektionsfähigkeit. Die Open-Loop-Software des ALTUS Exposure Asset ermöglicht die Strukturierung von bis zu 256 Schichten verschiedener Photoresisttypen. Das Modell kann Belichtungsgrenzen exakt entsprechend dem verwendeten Fotolacktyp definieren und anpassen. Mit dieser Fähigkeit kann die Belichtungszeit für jede Schicht geändert und optimiert werden. Die ALTUS Resolution Patterning Technology sorgt für eine exakte Platzierung jeder Funktion und gleichzeitig für eine möglichst hohe Auflösung. Mark 7 Geräte ist auch in der Lage, ECRIS (Enhanced Critical Resolution Imaging System) Bildgebung mit BEAMER (hochauflösende Abbildung mittels Elektronenstrahl) durchführen. Erweiterte Fehlererkennungsfunktionen in MARK-7 Einheit werden von der TELECISAS (TELETron™ Machine for Advanced Inspection and Simulation) bereitgestellt. Zu den Funktionen von TELECISAS gehören fortschrittliche Fehlererkennungsalgorithmen und eine umfassende Datenbank mit Qualitätskontrollinformationen. Neben den hochpräzisen Belichtungsfunktionen MARK7 Werkzeugs sind auch die Funktionen für das Daten- und Materialmanagement beeindruckend. Alle wesentlichen Informationen sind datengesteuert, was die Steuerung des Produktionsprozesses erleichtert. Informationen werden mit intelligentem Data Mining und Analyse überwacht und gesammelt. Das Material Management Asset deckt jeden Aspekt des Prozesses ab, vom Rohstoff bis zum fertigen Produkt, und ermöglicht eine detaillierte Bestands- und Bestellkontrolle. TEL Mark 7 Modell ist eine hochentwickelte Photolithographie-Lösung, die hohe Auflösung, Präzision und Qualitätskontrolle bietet. Es wurde entwickelt, um die Einführung fortschrittlicher Halbleiterherstellungsprozesse zu erleichtern und gleichzeitig die Kosten zu begrenzen und die Produktivität zu verbessern.
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