Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9241222 zu verkaufen
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ID: 9241222
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
(5) Developer system, 8"
Dual block
1995 vintage.
TEL (TE) TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7 Photoresist Equipment ist ein Gerät zur Halbleiterherstellung zur Abscheidung und Strukturierung von Dünnschichtschichten aus Photoresist. Es wurde entwickelt, um die fortschrittlichen Anforderungen der heutigen Halbleiterindustrie zu erfüllen und ist in der Lage, hochauflösende Bilder und Muster mit genauen Seitenverhältnissen zu erzeugen. Das System besteht aus drei Hauptkomponenten - dem Controller, dem stabilen Tisch und der Optikkammer. Die Steuerung ist die Hauptkomponente für die Steuerung und den Betrieb von Einheiten, die Echtzeit-Rechen-, Datenanalyse- und Rückkopplungssignale verwendet, um strenge Prozessanforderungen zu erfüllen. Der stabile Tisch sorgt für eine genaue Platzierung eines Substrats während der Beschichtungs- und Strukturierungsprozesse. Die Optikkammer ist für den Abbildungsprozess zuständig und verfügt über eine präzise Steuerung der Weglänge und Positionierung von Laserstrahlen zur Strukturierung. TEL MARK7 verfügt auch über mehrere Funktionen, um die Leistung und Genauigkeit zu verbessern. Eine Niedrigtemperaturplasmaaktivierungsschicht wird verwendet, um sicherzustellen, dass eine Uniform Schichtendicke und verbessertem Festkleben des Widerstehens zur Substratoberfläche widersteht. Die Verwendung eines hochauflösenden binären Steppers und einer erweiterten Optikkammer ermöglicht eine präzise Steuerung der Lichtbelichtung, um hochauflösende Muster zu erzeugen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Funktion zur Feinabstimmung des Prozesses, um das gewünschte Endmuster zu erhalten. Mit TOKYO ELECTRON MARK-7 können Anwender eine präzise Mikroherstellung von Dünnschichtschichten mit Größen von bis zu 0,125 Mikrometern erreichen. Mit der Fähigkeit, die Lichtbelichtung genau zu steuern, können Benutzer Ebenen mit verschiedenen Formen und Formelementgrößen erstellen. Das Tool unterstützt auch eine breite Palette von Betriebsparametern, einschließlich Pulsfrequenz, Spotgröße und Belichtungsenergie. Dies macht MARK7 zu einem geeigneten Element für die Verarbeitung komplexer Formen und Formgrößen. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 bietet Benutzern eine einfache und intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Einrichtung und Bedienung des Modells ermöglicht. Das Gerät verfügt zudem über ein umfassendes Diagnose- und Kontrollsystem, mit dem Anwender jeden Schritt des Prozesses überwachen und notwendige Anpassungen vornehmen können. Abschließend bietet die TE TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist Unit eine effektive und effiziente Plattform für die Abscheidung und Strukturierung von Photoresist. Die Kombination aus fortschrittlichen Funktionen, fortschrittlicher Optik und umfassender Maschinensteuerung ermöglicht es dem Benutzer, hochauflösende Muster mit präzisen Seitenverhältnissen und Funktionsgrößen zu erstellen. Diese Eigenschaften machen TOKYO ELECTRON Mark 7 zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung von Dünnschichtgeräten und Anwendungen.
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