Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9242345 zu verkaufen
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ID: 9242345
Wafergröße: 5"
Weinlese: 1995
(2) Developer system, 5"
(5) HP
CHP
(4) COL
(2) Chemical boxes
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung der nächsten Generation, die in der Lage ist, ultrapräzise, ultraschnelle und kostengünstige Lithographie bereitzustellen, um Hochleistungs-integrierte Schaltungsmuster und Waferbearbeitung zu ermöglichen. TEL MARK7 System wurde entwickelt, um fortschrittliche Schaltungsentwürfe und die fortschrittlichste Verarbeitungstechnologie zu unterstützen, um die heutigen anspruchsvollen Anforderungen an die Halbleiterherstellung zu erfüllen. TOKYO ELECTRON MARK-7 verwendet die neueste diffuse Beleuchtungstechnologie, um ultrascharfe und genaue Musterung und Frontside-Ausrichtung zu bieten. Das Gerät ist mit einem Hochleistungs-Laserinterferometer ausgestattet, um eine ultrapräzise Ausrichtung von Maske und Wafer während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Mit TOKYO ELECTRON MARK7 lassen sich auch die schwierigsten Masken konsequent mit hervorragender Leistung erzeugen. Die Maschine verfügt außerdem über ein hochpräzises, schnelles Musterwerkzeug zur Verkürzung der Belichtungszeit. MARK-7 verfügt über eine integrierte Collimator-Linse, die eine größere Brennweite erzeugt, um Musterfehlstellungen zu minimieren. TEL MARK-7 beinhaltet auch ein automatisiertes Metrologie- und Alignment-Asset (AMAS) für präzise Messtechnik und Ausrichtung nach der Exposition. Dieses Modell bietet genaue Positionierung und Ausrichtung von Wafern, um Hinterschneidungen und Überätzungen zu minimieren. Das AMAS vereinfacht zudem die Musterinspektion und Fehlererkennung während des Belichtungsprozesses durch den Einsatz von Schnellabtastoptiken. Die Ausrüstung enthält auch eine Vielzahl von Funktionen, um die Prozesskontrolle zu verbessern und die Wartungskosten zu senken. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 verfügt über eine leistungsstarke Software-Workstation mit MAGIC (TEL Mark 7 Graphical Interface Control) Software, die den Betrieb optimiert und zu einer einfacheren und schnelleren Geräteeinrichtung führt. Darüber hinaus verfügt das System über integrierte Steuerungen und Kameras, um den gesamten Prozess zu überwachen, die Prozessstabilisierung zu verbessern, das Auftreten von partikelbedingten Defekten zu reduzieren und schnelle Rückmeldungsinformationen bereitzustellen. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 unit wurde entwickelt, um eine präzise, schnelle und kostengünstige Photolackverarbeitung für die neuesten integrierten Schaltungen zu ermöglichen. Mit seiner fortschrittlichen Beleuchtung, Frontside Alignment Machine, Automated Metrology and Alignment Tool und MAGIC Software ist Mark 7 in der Lage, erstklassige Gerätemuster mit hoher Maßgenauigkeit und Gleichmäßigkeit zu produzieren.
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