Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 3C #9290536 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 3C ist eine Photoresist-Ausrüstung von TEL, die in der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Das System ist sowohl Filmapplikator als auch Entwickler und dient zur Erzeugung von Photolackmustern auf Halbleiterscheiben. Das Gerät ist mit einem Stepper ausgestattet, mit dem die Wafer durch den Prozess geführt werden. Der Stepper ist mit einem Ausrichtfutter ausgestattet, um eine genaue Positionierung der Wafer während des Prozesses zu gewährleisten, und ist so konfiguriert, dass Ausrichtungsinformationen vom Retikel übertragen werden. Die Belichtungszeiten können je nach Bedarf variiert und ein Scan-Spiegel auf ausgewählten Modellen verwendet werden, um die Produktivität zu erhöhen. Die Maschine verfügt über ein eingebautes Gasförderwerkzeug, das auf die verwendete spezifische Resistchemie zugeschnitten werden kann. Es ist in der Lage, inerte Gase wie Stickstoff oder Schwefelhexafluorid zur Resistentfernung sowie Sauerstoff zur Plasmareinigung zuzuführen. Das Gut kann auch für die Verarbeitung anderer Photomasken-Substrate wie Glas, Quarz und Metall verwendet werden. Das Modell verfügt über einen integrierten CR-Dreharm, mit dem Photolack auf die Waferoberfläche aufgebracht wird. Der Arm ist in der Lage, eine gleichmäßige Abdeckung des mit Photoresist bedeckten Wafers zu erreichen, während ein Verschmieren und Bündeln des Resistmaterials vermieden wird. Es ist kompatibel mit einer breiten Palette von Photoresists, mit motorisierter Einstellung und einer Präzisions-Mikrodosierpumpe. Das Gerät verfügt außerdem über einen PhotoMaster-Controller zur Steuerung und Überwachung der Waferbearbeitung. Der Controller ist in der Lage, sowohl halb als auch vollautomatisch zu arbeiten und Prozessrezepte zu speichern. Der PhotoMaster Controller kann auch Belichtungsdosen messen und anzeigen. TEL Mark 8 3C Photoresist System bietet ein modernes und zuverlässiges Werkzeug für hochpräzise, hochdurchsatzreiche Photomasken-Strukturierung, die die stabile, kostengünstige Herstellung von Halbleiterbauelementen ermöglicht. Es ist ein wertvolles Werkzeug bei der Herstellung von Photomasken.