Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293626805 zu verkaufen

ID: 293626805
Weinlese: 1997
Coater / (2) Developer system 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment ist ein Lithographiesystem zur Herstellung von Halbleiterschaltungskomponenten. Es ist mit integrierter Steuerung, fortschrittlicher Diagnose und Überwachung sowie einer fortschrittlichen Automatisierungseinheit ausgestattet, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei jeder Produktion sicherzustellen. Die Maschine verfügt über eine Benutzeroberfläche, die zur einfachen Handhabung der Werkzeugparameter verwendet werden kann. Die Anlage soll ein Photolackmaterial (insbesondere einen Fotolackfilm) UV-Strahlung aussetzen, die mit einem Photomaskenmuster kombiniert wird, um das Muster auf dem Gerät zu bestimmen. Dieses Verfahren wird häufig zur Bildgebung und zum Ätzen der Vorrichtung für die Feinlinienlithographie verwendet. Es weist auch ein maskenloses Ausrichtungsmodell auf, das dazu ausgelegt ist, den Wafer während der Belichtung horizontal auszurichten und die Ausbeute an guten Geräten zu erhöhen. TEL MARK8 Photoresist Equipment hat eine hohe optische Auflösung von 2,3 Mikron bis 3,8 Mikron, was eine hohe Genauigkeit der Belichtung von Eigenschaften des Photoresist-Films ergibt. Es ist auch in der Lage, Geräte mit 8x Geschwindigkeit oder schneller zu mustern, so dass kürzere Verarbeitungszeiten. Es kann auch 6-Zoll-und 8-Zoll-Wafer-Größen unterstützen. Das System verfügt außerdem über einen Partikeldetektor zur Erfassung von Defekten oder Umgebungsbedingungen außerhalb des Geräts. Dies geschieht, um seine Leistung zu erhalten und die Lebensdauer des Geräts zu verlängern. Es verfügt auch über eine spezielle Optik, um seine Ausgasung zu minimieren und eine Kontamination des Films während der Belichtung zu verhindern. TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Machine verfügt auch über ein speziell entwickeltes Autofokus-Tool, mit dem die Fokuslänge der Linse automatisch angepasst wird, um eine bessere Leistung zu erzielen. Es hat auch einen automatischen Dosiermechanismus, der die Strahlendosis für jede Schicht des Substrats automatisch einstellt. Dadurch wird sichergestellt, dass an jeder Schicht die richtige Energiemenge auf das Substrat aufgebracht wird. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Asset über eine hochgenaue Wafer-Bühne und fortschrittliche Software-Tools, die wiederholbare und zuverlässige Leistung bieten. Dadurch wird sichergestellt, dass die Produktionsergebnisse konsistent und wiederholbar sind und eine höhere Zuverlässigkeit für kritische Prozesse zur Herstellung von Halbleiterbauelementen bieten. Insgesamt ist Mark 8 Photoresist Model das ideale Werkzeug für lithographische Prozesse in der Halbleiterindustrie und bietet eine außergewöhnliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit für Produktionslinien.
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