Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293657242 zu verkaufen
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ID: 293657242
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
(1) Coater / (1) Developer system, 8"
Dual block
Coater: (4) Nozzles
Developer: Stream nozzle
Wafer flow: Left to right (CSB Unit left side and interface station right side)
Tank auto switch
Block 1:
FC-9821Ke Controller
Stage / indexer: Cassette station
Cassette Station Arm (CSA)
Block 2:
Normal photo resist coater 2-1:
(4) Photoresist dispense nozzles per coat unit
(4) Photoresist dispense nozzles and Iwaki Resist pump per coater
Side rinse nozzle (Programmable)
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist ein Photolacksystem, das in der Lithographie von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Photoresist ist ein Material, das verwendet wird, um ein Muster auf einem Substrat zu bilden, indem selektiv Licht hindurchgelassen wird. TEL MARK8 Einheit verwendet einen Projektor, um den Photolack ultraviolettem Licht zu belichten und eine Prozesskammer, um unerwünschtes Material aufzulösen. TOKYO ELECTRON MARK-8 ist eine modulare Maschine mit zwei Teilen: dem Belichtungskopf und der Prozesskammer. Der Belichtungskopf hält den Projektor, der mit einem fortschrittlichen, UV-empfindlichen optischen Werkzeug ausgestattet ist. Es ist in der Lage, kurze Pulse von UV-Licht mit genauer, präziser Ausrichtung und Größe des projizierten Musters zu liefern. Die Prozesskammer, die andere Komponente des Vermögenswertes, soll den Fotolack nach der Belichtung auflösen. Die Kammer wird erhitzt und mit einer chemischen Lösung gefüllt, die als Katalysator zum Lösen des Photoresists wirkt. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8 Modell kann auch angepasst werden, um verschiedene Substrate bei verschiedenen Temperaturen zu verarbeiten, so dass es ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsverfahren. TEL Mark 8 ist benutzerfreundlich und ermöglicht eine präzise Kontrolle des Musterprozesses. Es verfügt über ein einfaches Bedienfeld, mit dem Benutzer die Größe, Orientierung und Pulsstärke des projizierten Musters schnell anpassen können. Darüber hinaus ermöglicht es dem Benutzer, den Prozess einfach zu wiederholen, so dass große Chargen von ICs schnell und genau hergestellt werden können. Insgesamt ist das TOKYO ELECTRON MARK8 Photoresist-System ein zuverlässiges, leistungsfähiges und präzises Werkzeug für den Lithographieprozess. Die einfache Steuerung und das benutzerfreundliche Design ermöglichen es Benutzern, ihre Substrate schnell und präzise zu mustern, was sie zu einem unschätzbaren Vorteil für jede Halbleiterherstellungsanlage macht.
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