Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293690383 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 293690383
System.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine von TEL Limited entwickelte Photoresist-Ausrüstung, die hauptsächlich zur Herstellung von Wafern im Bereich der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es ist ein umfassendes System, das eine breite Palette von Photolackverarbeitungsschritten wie Waferbeschichtung, Waferentwicklung und Ätzen bewältigen kann. TEL MARK8 verfügt über einen Direktantrieb „Kinematics Driven“ Beschichtungsrotor, der hochpräzise, defektarme und prozessstarke Ausbeute ermöglicht. Die Bewegung des Beschichtungsrotors wird durch einen Hochgeschwindigkeits-, Hocheffizienz- und Hochstabilitätsdirektantriebsmotor mit kinematischem Aktivpositioniermechanismus für genaue und stabile Prozesse gesteuert. Die On-Board-Überwachung des Temperaturniveaus sorgt für hohe Qualität und zuverlässigen Betrieb. Es verfügt über eine erweiterte Wafer-Handhabungsfähigkeit, die eine optimale tatsächliche Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. Die Maschine bietet eine Vielzahl von Wafergrößen, wie traditionelle und spezielle Wafer-Typen, und unterstützt auch ein multidirektionales Layout, um alle einzigartigen Bedürfnisse des Kunden zu erfüllen. TOKYO ELECTRON MARK-8 verwendet fein gesteuerte optimierte Prozessparameter, die die Verarbeitung von Photoresists mit einer Genauigkeit von ± 1 μ m ermöglichen. Die fortschrittliche algorithmenbasierte Steuerungstechnologie trägt dazu bei, eine konstante Verarbeitungsqualität und Gleichmäßigkeit über einen längeren Zeitraum aufrechtzuerhalten. Das Werkzeug verwendet eine sensorgesteuerte Optik und eine Antriebspositionskontrolle, um eine konsistente und flache optische Folie über den Wafer zu gewährleisten. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8 bietet auch eine intuitive Benutzeroberfläche für eine komfortable Bedienung. Es verfügt über benutzerfreundliche Menüs und Grafiken mit einem „Rezept“ -Typ, der die Bearbeitung mit einer Taste ermöglicht und die Bedienung erheblich vereinfacht. Der hochautomatisierte Betrieb wird weiter durch eine Sicherheitseinrichtung unterstützt, um mögliche Sicherheitsrisiken zu identifizieren und hilft, eine sichere und stabile Arbeitsumgebung zu gewährleisten. MARK-8 ist eine ideale Lösung für fortgeschrittene Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie Kontaktresistplattieren, Stoßen und Dünnschichtabscheidung. Seine geringe Fehlerquote und hohe Genauigkeit machen es zu einer zuverlässigen Wahl für die Herstellung von hochentwickelten Halbleiterbauelementen. Als solches ist TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8 eines der fortschrittlichsten und zuverlässigsten Photolacksysteme, die in der Industrie eingesetzt werden.
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