Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9090357 zu verkaufen

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ID: 9090357
(2) Coater / (2) Developer System Inline Main Controller: ELX-286 CSB PRB1 PRB2 IFB Transformer (AC) T & H Controller #1 Chemical Box #1 Chemical Box #2 External Controller Rack.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie zur Strukturierung integrierter Schaltungen verwendet wird. Es ist ein vollautomatisches System, das in der Lage ist, eine Reihe von verschiedenen Resists abzulegen, zu entlarven und zu entwickeln. TEL MARK8 besteht aus einer Kammer, in der die Widerstände und andere zu strukturierende Materialien untergebracht sind. Diese Kammer ist mit einer Waferstufe verbunden, die den Wafer während des Musterprozesses hält. Die Resiststoffe und Materialien werden über eine vertikale Injektoreinheit in die Kammer eingebracht. Anschließend werden sie mit einem flachen Abscheideverfahren über die Waferoberfläche verteilt. Das Material kann bei Bedarf auch im Spin-Coating-Verfahren verteilt werden. Sobald die Resists und andere Materialien auf dem Wafer sind, ist TOKYO ELECTRON MARK-8 bereit, seinen Photoresist-Strukturierungsprozess zu beginnen. Dieser Prozess beginnt damit, den Wafer einer ultravioletten Lichtquelle auszusetzen. Die Intensität der Lichtquelle ist einstellbar, wodurch unterschiedliche Muster auf der Waferoberfläche erzeugt werden können. Die Belichtung kann einzeln erfolgen, oder es können mehrere Belichtungen zu komplexeren Mustern kombiniert werden. Nach der Belichtung wird der Resist mit Hilfe einer Lösung entwickelt, und gegebenenfalls kann mit einem Lösungsmittel etwaige Rückstände von der Waferoberfläche abgezogen werden. Dies hinterlässt die präzisen Muster, die von MARK8 geschaffen wurden. Die von TEL Mark 8 erstellten Muster können verwendet werden, um effiziente integrierte Schaltungsgeräte zu erstellen. TOKYO ELECTRON MARK8 ist eine sehr zuverlässige und präzise Maschine und ist auch einfach zu bedienen und zu warten, so dass es eine attraktive Option für Halbleiterhersteller. Es kann mit einer Vielzahl von Widerständen und Materialien arbeiten und ist in der Lage, komplizierte Muster zu erstellen, die für den Einsatz bei der Erstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen geeignet sind.
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