Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098383 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9098383
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
(2) Coaters / (2) Developers System, 8"
7CP
1AD
6HP
1WEE
2-1 RRC x3
EBR cylinder
(1) 2-2 Iwaki
E2
Komatsu
I/F Nikon i12D
(2) M/A
LtR
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Verarbeitungsanlage, die entwickelt wurde, um Präzisionsmikroschaltungen auf Halbleiterscheiben zu erzeugen. Es ermöglicht eine genaue Steuerung der Belichtung, Diffusion und Ätzung der Photolackschichten, mit denen sehr kleine Bauelemente auf Halbleiterchips gemustert werden. TEL MARK8 besteht aus einer Lichtmaske, die verwendet wird, um den Fotolackfilm mit UV-Licht zu belichten, um Photolackformen zu bilden. Es folgen zwei Diffusionsöfen, die die belichtete Folie kochen, um ungeschützte Bereiche abzulösen und das gewünschte Muster zu erzeugen. TOKYO ELECTRON MARK-8 enthält auch zwei Systeme zum Ätzen des Musters in das darunter liegende Substrat. Die erste ermöglicht das Ätzen von tiefen Gräben, die häufig verwendet werden, um Kontaktpads und andere tiefe elektrische Strukturen zu erzeugen. Die zweite ätzt den Fotolackfilm selbst ab und belichtet so das darunter liegende Substrat an den gewünschten Stellen. Weitere Merkmale des Photoresist-Systems sind chemische und mechanische Wascheinheiten zum Entfernen von Partikeln vor der Widerstandsabscheidung, ein entionisiertes Wasserbad und zwei Einheiten zur Inspektion des Gerätemusters nach der Verarbeitung. Das erste ist ein Mikroskop-Aufsatz, mit dem Benutzer die Muster bei hoher Vergrößerung untersuchen können, und das zweite ist ein elektrischer Tester, der eine Spannung über das Gerät wirft, um sicherzustellen, dass es richtig funktioniert. Insgesamt ist MARK8 eine umfassende Photoresist-Bearbeitungsmaschine, die präzise Mikroschaltgeräte mit hoher Kontrolle über Belichtung, Diffusion und Ätzen herstellen kann. Dieses Werkzeug ist ein wichtiger Bestandteil moderner Chipherstellungsanlagen weltweit, und seine Zuverlässigkeit und Genauigkeit sind für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente unerlässlich.
Es liegen noch keine Bewertungen vor