Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098390 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 (TM8) ist eine Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz im Lithographieverfahren. Photoresist ist eine Art von Polymer, das lichtempfindlich ist. Die TM8 verwendet eine Lichtquelle, um ein Muster auf einem Substrat freizulegen und dann eine Resistschicht in den gewünschten Bereich abzuscheiden. Das TM8 ist ein automatisiertes Mustersystem, das ein fortschrittliches Design verwendet, das eine automatisierte Verarbeitung mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit von einem Mikron oder weniger ermöglicht. Das Gerät nutzt drei Stufen Musterung - Pre-Exposition, Exposition und Post-Exposition. Die Vorbelichtungsstufe verwendet eine Stufenbewegungsmaschine, um den Wafer von der Kassette zur Ausrichteinheit innerhalb des Werkzeugs zu bewegen. Das Alignment Asset verwendet Laser, um eine präzise Positionierung des Wafers für den Belichtungsprozess zu gewährleisten. Die Belichtungsstufe ist für die Projektion einer Lichtquelle auf das Substrat verantwortlich. Die TM8 verwendet UV-Strahler hoher Intensität, um den Wafer mit hohen Durchsatzergebnissen mit Ausrichtungsgenauigkeit zu mustern. Der Photolack wird vor dem Belichtungsvorgang aufgebracht und dann aktiviert das Licht das Resistmaterial im gewünschten Bereich. Die Nachbelichtungsstufe besteht aus einem Backmodell, mit dem die Photolackschicht getrocknet wird. Das Backgerät sorgt auch für Härte der Schicht. Danach wird der Resist für weitere Verfahrensschritte registriert. Insgesamt ist TEL MARK8 ein leistungsfähiges Photolacksystem, das eine leistungsstarke und präzise Strukturierung für Photolithographieanwendungen ermöglicht. Seine automatisierten Funktionen bieten einen schnellen und zuverlässigen Belichtungsprozess und liefern wiederholbare und genaue Ergebnisse. Der TM8 kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300mm handhaben. Das TM8 ist ein kostengünstiges Werkzeug für Halbleiterhersteller und integrierte Schaltungsanlagen.
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