Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098391 zu verkaufen
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ID: 9098391
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
(1) Coater / (1) Developer System, 6"
(1) Scr
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine innovative Photoresist-Ausrüstung, die eine höhere Präzision für die Halbleiterproduktion bietet. Dieses System verwendet automatische Belichtungssteuerung und fortschrittliche Lasertechnologie für genaue Präzision, die die Entwicklung von komplizierteren Designs und Strukturen ermöglicht. TEL MARK8 ist eine fortschrittliche Trockenätzeinheit mit einer Belichtungskammer, die in ein automatisiertes Werkzeug integriert ist. Diese Lösung unterstützt bis zu acht Stepper und ermöglicht die Erstellung komplexer Prozesse für die hochpräzise Halbleiterproduktion. TOKYO ELECTRON MARK-8 wird als komplette Maschine mit mehreren Komponenten wie einem Stepper, Photoresist, einer programmierbaren Steuerung (SPS) und einer Kammer verkauft. Die SPS steuert alle Ereignisse, einschließlich Prozessoptimierung, während des Ätzprozesses. Dieses Tool bietet eine Vielzahl von Funktionen, um die Genauigkeit und Präzision des Prozesses zu verbessern, einschließlich Mustererkennung, Belichtungsbewertung und Optimierung von Prozessparametern. Der Photolack in dieser Anlage soll sicherstellen, dass die Präzision und Qualität des geätzten Musters konstant hoch ist. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8 ist aufgrund seines optischen High-End-Modells, wie seiner hochwertigen Linsen und Präzisionsstrahlliefergeräte, in der Lage, eine extrem hohe CD (kritische Dimension) -Steuerung zu erreichen. Der verwendete Photoresist bietet erhöhte Präzision für große Belichtungsfläche, verbesserte Gleichmäßigkeit und hochauflösende Auflösung. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8 verfügt außerdem über eine programmierbare Logiksteuerung (SPS), die die Genauigkeit und Geschwindigkeit des Ätzprozesses erhöhen soll. Die SPS ist in der Lage, die Echtzeitsteuerung des Ätzprozesses beizubehalten und kann entsprechend den spezifischen Anwendungsanforderungen programmiert werden. Die daraus resultierenden Profilinformationen, die zwischen dem Photolack und der SPS ausgetauscht werden, ermöglichen es dem Controller, Prozessparameter einzustellen und eventuelle Bereiche zu identifizieren, die sich negativ auf den Ätzprozess auswirken können. Darüber hinaus ist Mark 8 für die Integration in bestehende Produktionslinien konzipiert und kann mit bestehenden Produkten eingesetzt werden. Dieses System ist auch für den Hochgeschwindigkeitsbetrieb ausgelegt und kann bis zu 20 Wafer pro Stunde ätzen. Das Ergebnis ist eine effiziente und kostengünstige Ätzlösung, die die Produktion von hochpräzisen Geräten unterstützt. Insgesamt ist TEL MARK-8 eine Hochleistungs-Photolackeinheit, die eine höhere Präzision und Genauigkeit für die Halbleiterproduktion bietet. Die Maschine bietet eine integrierte Lösung, die Belichtungskammer, Photoresist-, SPS und Stepper umfasst, um ein ausgeklügeltes Ätzen zu ermöglichen. Es ist für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und bietet eine Hochgeschwindigkeits-Produktionslösung.
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