Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098398 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment ist ein hochentwickeltes und fortschrittliches System für maskenlose Lithographieanwendungen. Es verwendet ein neuartiges Konzept der Verwendung einer zweidimensionalen Leuchtdiode (LED) -Anordnung als Hauptbeleuchtungsquelle und optische Linsen, um die LED-Beleuchtung genau zu fokussieren. Es ist in der Lage, Funktionsgrößen von wenigen Mikrometern bis zu mehreren Millimetern zu verarbeiten und kann leicht eine Nanometer-Registrierungsgenauigkeit erreichen. Es ist auch in der Lage, mit einer Vielzahl von Photoresist-Materialien zu arbeiten, einschließlich optischen und Elektronenstrahl Resiststoffe, sowie Trockenätzen und Metallisierung. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten, einschließlich einer optischen Kopfanordnung, die eine Lichtquelle und einen Linsenhohlraum enthält, einem LED-Kollimationsmodul, einem digitalen Bildprojektionsmodul und einer Ausrichtmaschine zur genauen Positionierung der Optik und des Abbildungssubstrats auf dem Werkzeug. Das LED-Array liefert die für die Strukturierung von Mustern in ein Resistmaterial notwendige Beleuchtung und kann mit einem weiten Bereich von Betriebswellenlängen eine beispiellose Linearität in der Lichtintensität liefern. Das LED-Kollimationsmodul verfügt über ein elektronisch betätigtes Ventil, das ein präzises Umschalten zwischen direkter Beleuchtung und diffusem Licht ermöglicht, was eine feinere Abdeckung von Merkmalen und Belichtungsbreite ermöglicht. Mit Hilfe einer speziellen Sensor- und Bildgebungssoftware ist es möglich, LED-Array und Substrat für die Ausrichtgenauigkeit über einem Nanometer genau auszurichten. Das digitale Bildprojektionsmodul dient zur Steuerung der Bildintensität durch eine Reihe von Einstellungen, wie Pulsweitenmodulation sowie die räumliche Auflösung des Bildes. Dieses Modul kann auch verwendet werden, um die Bildfläche zu vergrößern oder zu reduzieren, unter Beibehaltung der Gesamtqualität des Bildes. Das Asset verfügt außerdem über ein Ausrichtungsmodell zur genauen Ausrichtung von bildgebendem Substrat und LED-Array, das eine hochpräzise Ausrichtung mit einer Registriergenauigkeit von bis zu einem Nanometer ermöglicht. Die Ausrichteinrichtung verwendet auch eine Vielzahl von Sonden und Detektoren zur Messung der Position des bildgebenden Substrats und des LED-Arrays in x-y-z-Richtung und ist in der Lage, die Resistmusterverzerrung genau zu charakterisieren. Insgesamt ist TEL MARK8 ein hochentwickeltes System für maskenlose Lithographieanwendungen, das eine einzigartige Array-LED-Kollimationseinheit und ein digitales Bildprojektionsmodul für mehr Funktionsdichte und Kantensteuerung mit einer extrem hohen Belichtungsgenauigkeit von bis zu einem Nanometer bietet. Es ist perfekt für nanotechnologische Anwendungen, die eine hohe Genauigkeit und Präzision bei der Erstellung exakter Muster und Strukturen erfordern.