Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098400 zu verkaufen
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ID: 9098400
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, mit der Schaltungsmuster auf einem Halbleitersubstrat erzeugt werden können. Es bedient sich sowohl der Photolithographie als auch der Ätztechniken und ermöglicht die Erzeugung von gemusterten Metalllinien im Substrat. Das Photolacksystem verwendet eine Photomaske mit dem gewünschten Muster, die dann in die Einheit eingebracht wird. Zunächst wird das Substrat mit einem Photolackmaterial im Spin-Verfahren beschichtet. Das Substrat wird dann durch die Photomaske mit UV-Licht belichtet. Während dieses Prozesses wird Licht mit dem Fotoresistmaterial interagieren und seine Eigenschaften ändern. Nach der Belichtung wird das Substrat in einem Lösungsmittel abgespült, um entweder das unbelichtete Photoresistmaterial zu entfernen oder den belichteten Anteil zu verlassen. Der belichtete Teil des Fotolacks sollte als „Schablone“ zum Ätzen verbleiben. Das Ätzverfahren wird dann eingesetzt, um das Substratmaterial in dem Bereich zu entfernen, in dem der belichtete Photoresist verbleibt. Dadurch entsteht das gewünschte Muster von Metalllinien. Anschließend wird eine vormetallische dielektrische Abscheidung zugegeben, die eine Schicht aus isolierendem Material auf den Metallleitungen ist. Dies erhöht die Gerätesicherheit und stellt eine elektrische Verbindung zwischen Ätzteil und Substrat her. Schließlich muss der belichtete Photolack entfernt werden, bevor der Wafer getestet werden kann. Dies geschieht üblicherweise durch Einaschen oder Eintauchen in eine Entwicklerlösung. TEL MARK8 bringt eine Vielzahl von Vorteilen für den Prozess der Herstellung von metallischen Linien auf einem Substrat. Es entfällt die Notwendigkeit mehrerer Schritte, um die belichteten Bereiche von den unbelichteten Bereichen des Substrats zu trennen, wodurch das gesamte Verfahren effizienter und wirtschaftlicher wird. Es bietet auch eine präzise Kontrolle über die Abmessungen der umlaufenden Leitungen, um eine zuverlässige Geräteleistung zu gewährleisten. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Machine ein effektives Werkzeug, um komplexe Muster von metallischen Linien in einem Substrat zu erzeugen. Die automatisierten Prozesse und die präzise Steuerung gewährleisten eine zuverlässige Geräteleistung und sind damit ein wertvolles Werkzeug für Unternehmen in der Elektronikwelt.
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