Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098402 zu verkaufen
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ID: 9098402
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Photolithographie, die häufig für die Herstellung von Mikroschaltungen verwendet wird. Es kann für die Erstellung von abstrakten Mustern auf flachen Oberflächen verwendet werden und wird häufig für fortgeschrittene oder komplexe integrierte Schaltungsdesigns verwendet. TEL MARK8 besteht aus drei Teilen: der Waferbühne, der Lampe und dem Fotolack. Die Waferstufe ist die Basis des Systems, auf die der Wafer mit dem gewünschten integrierten Schaltungsdesign aufgesetzt wird. Das Design wird zunächst auf einem Flachbildschirm getestet und dann auf den Wafer übertragen. Die Bühne ist so konzipiert, dass sie den Wafer automatisch hält und bewegt. Die Lampe ist die Quelle für UV-Licht und erzeugt einen fokussierten Strahl, der durch eine optische Linse auf den Wafer gelangt. Die Lampe ist in der Lage, eine breite Palette von Wellenlängen zu produzieren, so dass es mehrere Photoresists zu handhaben. Ein Fotolack ist ein Material, das, wenn es dem UV-Licht ausgesetzt ist, ein Bild erzeugt oder ein Muster oder Design auf der Waferoberfläche erzeugt. Der Photolack wird auf die Oberfläche des Wafers aufgebracht und bindet nach Belichtung mit dem UV-Licht der Lampe entweder an die Oberfläche oder wird weggewaschen, was zu dem gewünschten Muster führt. Neben den einzelnen Komponenten umfasst TOKYO ELECTRON MARK-8 weitere Funktionen wie eine einstellbare Düsengröße, ein dreistufiges Pumpverfahren, eine empirisch basierte automatisierte Kalibriereinheit und einen Kühlwasserboden. Die Düsengröße ist bis zu 6,4 mm einstellbar, was eine detailliertere Strukturierung ermöglicht. Das dreistufige Pumpverfahren sorgt für eine effizientere und gleichmäßigere Förderung des Photolacks. Die automatisierte Kalibrierung soll die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit MARK-8 Maschine gewährleisten. Schließlich sorgt der Kühlwasserboden für zusätzliche Kühlung, um eine mögliche Überhitzung zu reduzieren. Kombiniert machen diese Eigenschaften Mark 8 zu einem idealen Werkzeug für Photolithographie und Mikroschaltungen. Seine Fähigkeit, Muster auf einer Waferoberfläche schnell und präzise herzustellen, ermöglicht es, sie in einer Vielzahl von Branchen wie Luft- und Raumfahrt und Unterhaltungselektronik sowie bei der Erstellung integrierter Schaltungen in fortschrittlichen Elektronikanwendungen zu verwenden.
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