Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098639 zu verkaufen
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ID: 9098639
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment ist ein hochmodernes Photoresist-System, das für modernste Lithographieanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät verwendet einen leichten, in sich geschlossenen Roboterarm, der die Photoverarbeitungsschritte im Zusammenhang mit der Photolithographie automatisiert. Diese Maschine ermöglicht eine präzise, hochpräzise und durchsatzstarke Herstellung komplexer lithographischer Muster. TEL MARK8 Photoresist Tool verfügt über eine leistungsstarke Komponente integrierter Hardware und Software. Zu den Hauptkomponenten dieses Modells gehören eine digitale Bildverarbeitungsausrüstung, ein Feinsteuerungssystem, eine Resistentwicklungseinheit und ein Backofen nach der Belichtung. Die digitale Abbildungsmaschine umfasst ein Laserinterferometer, eine digitale Abbildungskamera und ein Laserbeleuchtungswerkzeug. Dieses Asset ermöglicht eine präzise Kontrolle über die Platzierung und Ausrichtung von Mustern mit Auflösungen bis zu 0,1 Mikron. Das Feinsteuerungsmodell ermöglicht eine präzise Einstellung der Photomasken- und Photoresist-Belichtungsdosis. Die Resistentwicklungsgeräte werden verwendet, um Muster auf dem Substrat zu entwickeln und zu ätzen. Dieses System nutzt standardmäßige Resistentwicklungsprozesse wie Alkalin, Säure und Wärme. Schließlich wird der Backofen nach der Belichtung verwendet, um den Photoresist-Entwicklungsprozess abzuschließen. Dieser Ofen bringt den Photolack auf die für die Entwicklung geeignete Temperatur. TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Unit ist eine fortschrittliche Hochleistungsmaschine, die Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Herstellung von photoätzten Teilen für die anspruchsvollsten Anwendungen gewährleistet. Das Tool wurde entwickelt, um einen schnellen Durchsatz zu ermöglichen, die Entwicklungszyklen deutlich zu reduzieren und Produkte von höchster Qualität zu liefern. Dieses Asset ist hochgradig konfigurierbar und anpassbar und ermöglicht einfachste oder komplexeste lithografische Prozesse. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON MARK8 Photoresist Model einfach einzurichten, zu bedienen und zu warten und bietet eine ideale Lösung für jeden Bedarf an Photolithographie.
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