Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098641 zu verkaufen
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ID: 9098641
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die in der Produktion integrierter Schaltungen verwendet wird. Das System besteht aus einer automatischen Belichtungseinheit, einer automatischen Verarbeitungseinheit und einer automatischen Inspektionseinheit. Es verfügt über eine Auflösung von 4 μ m und ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu handhaben. Die automatische Belichtungseinheit dient zur Lithographie, bei der mit Licht ein Muster auf ein Photolackmaterial erzeugt wird. TEL MARK8 wurde entwickelt, um schnelle und qualitativ hochwertige Photoplots auf Photoresist-Wafern zu belichten. Dies geschieht durch Verwendung von ultraviolettem Licht, das durch eine Photomaske aus einem Muster aus Chrom, Molybdän oder anderen Metallen projiziert wird. Das projizierte Muster wird durch optische Reduzierung des durch die Fotomaske projizierten Bildes auf den Wafer übertragen. Die automatische Bearbeitungseinheit ist für die Beschichtung und Entwicklung der von der Selbstbelichtungseinheit belichteten Folie verantwortlich. Generell werden auf der TOKYO ELECTRON MARK-8 Unit sowohl Säuren als auch Alkali eingesetzt. Nach der Entwicklung übernimmt die Autoprüfeinheit die Verantwortung, das Muster zu überprüfen, um sicherzustellen, dass es fehlerfrei ist. MARK-8 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug in der Produktion integrierter Schaltungen. Mit einer Auflösung von 4 μ m und der Fähigkeit, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu handhaben, ist die Maschine in der Lage, genaue und qualitativ hochwertige Photoplots zeitnah zu produzieren. Seine automatische Belichtung, automatische Verarbeitung und Inspektionseinheiten machen es zu einem benutzerfreundlichen und zuverlässigen Werkzeug. Es ist ideal für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen an integrierte Schaltungen.
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