Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098643 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in lithographischen Prozessen. TEL MARK8 ist ein Lithographiesystem, das in der Mikro- und Mikroelektronik zur Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzt wird. Die Einheit besteht aus einer Maskenausrichtmaschine, einer Waferbühne, einem Photolackwerkzeug und einem optischen Werkzeug. Das Maskenausrichtungsgut besteht aus zwei Hauptkomponenten: einer Stufenbewegungssteuereinheit, die die Bühnenbewegung steuert, und einer Waferausrichtungseinheit. Die Wafer-Ausrichtungseinheit dient zur Erfassung und Ausrichtung des Wafers an der Maske. Zusätzlich wird eine zweidimensionale Ausrichtung mit einem Codiermodell erreicht. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer genau und präzise ausgerichtet ist. Die Waferstufe übernimmt die Aufgabe, den Wafer physisch auf die Maske zu übertragen. Die Stufe ist mit Bewegungssteuerungsmechanismen wie geringer Trägheit linearer Aktuator, Luftdurchführungen und Drehstromgebersysteme ausgestattet. Diese Mechanismen ermöglichen die präzise und präzise Bewegung der Waferstufe. Mit dem Photoresist-Gerät werden die Wafer mit einem lichtempfindlichen Film beschichtet. TOKYO ELECTRON MARK-8 ist mit einer chemischen Versorgungseinheit, einer Vakuumabgabeeinheit, einer Gassteuereinheit und einer Heizeinheit ausgestattet. Die chemische Versorgungseinheit dient zum Befüllen und Nachfüllen des Tanks mit Chemikalien zur Beschichtung des Wafers. Mit der Vakuumabgabeeinheit wird ein Vakuum auf dem Wafer erzeugt, so daß der Photoresist gleichmäßig auf den Wafer aufgebracht werden kann. Das Gassteuergerät dient zur Gewährleistung einer sicheren und kontaminationsfreien Umgebung. Die Heizeinheit wird verwendet, um die Chemikalie auf einer geregelten Temperatur zu halten. Das optische Werkzeug von TEL MARK-8 dient zur Belichtung des Wafers. Das Werkzeug ist mit Beleuchtungsoptik und Abbildungsoptik ausgestattet. Durch die Beleuchtungsoptik kann das Licht durch die Maske hindurchgelassen und auf den Wafer projiziert werden. Die Abbildungsoptik ermöglicht die Abbildung des Wafers, um den Ausrichtungsprozess zu unterstützen. TOKYO ELECTRON MARK8 ist mit einer Reihe modernster Technologien ausgestattet, um Genauigkeit und Präzision im lithographischen Prozess zu gewährleisten. Die genaue Ausrichtung der Gerätestufe und die präzise Steuerung der chemischen Versorgungseinheit gewährleisten die gleichmäßige und zuverlässige Abscheidung von Photolack auf die Wafer. Das Maskenausrichtungssystem und die bildgebende Optik sorgen für genaue und qualitativ hochwertige Bildgebung. Die Kombination dieser Funktionen bietet Mark 8 die notwendigen Werkzeuge, um einige der fortschrittlichsten Halbleiterbauelemente zu erstellen.