Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9155226 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung für Photolithographie- und Halbleiterherstellungsprozesse. Es verwendet modernste Technologie, um lichtempfindliche Materialien präzise Licht zu belichten, um Muster und andere Bilder auf Halbleiterscheiben zu erzeugen. Das System wurde in der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) und anderen mikroelektronischen Komponenten und Geräten weit verbreitet. TEL MARK8 verwendet eine einheitenintegrierte Digital Laser Source Unit (DLSU) zur Erzeugung eines Wellenlängenbereichs von Laserlicht, einschließlich solcher im tiefen ultravioletten (UV) Bereich. Die ultraviolette Belichtungsenergie kann in Mikrojoule-Schritten eingestellt werden, was eine hervorragende Auflösung des bildgebenden Prozesses ermöglicht. Das Variable Field of View (VFoV) des Lasers ermöglicht eine breite Palette von Belichtungsfeldgrößen von wenigen Millimetern bis zu 8 Zoll (200 mm), was eine erhöhte Flexibilität und Präzision im Lithographieverfahren ermöglicht. Die Maschine beinhaltet auch einen Stufenmechanismus, der den Wafer in drei Achsrichtungen (X, Y und Z) bewegen kann. In Kombination mit der Laserquelleneinheit ermöglicht dies eine genaue und präzise Belichtung der Rückseite des Wafers sowie der Vorderseite. Die Stufe hat auch eine sehr geringe thermische Drift für überlegene Up-Time-Leistung und Wafer-zu-Wafer Wiederholbarkeit. TOKYO ELECTRON MARK-8 ist auch mit einem vollautomatischen Lastschloss (FALL) ausgestattet, das eine schnelle, einfache und sichere Übertragung mehrerer Wafer von der Hauptkammer in die Prozesskammer ermöglicht. Das FALL-Werkzeug beherbergt bis zu zwanzig (20) Wafer, während ein halbautomatischer Waferlader zur Verfügung steht, um die Anzahl auf fünfzig (50) zu erhöhen. Verarbeitungsoptionen für TEL- MARK-8 sind Einstellungen, die entweder über einen manuellen Knopf oder über einen Computer gesteuert werden und eine genaue Kontrolle der Verarbeitungsparameter ermöglichen. Das Asset bietet auch zusätzliche Prozessoptionen, einschließlich fortgeschrittener Entwässerungsmethoden, Fehlererkennungsfunktionen und Modelldiagnosen. Schließlich kann die Ausrüstung angepasst werden, um spezifische Kundenanforderungen wie zusätzliche Prozessparameter, spezialisierte Hardware und Software und andere zusätzliche Funktionen zu erfüllen. Mark 8 ist ein vielseitiges, hochpräzises System, das eine ausgezeichnete Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit für präzise Belichtungen lichtempfindlicher Materialien bietet. Durch die Optimierung dieser Belichtungsparameter eignet sich das Gerät bestens für eine Vielzahl von IC-Fertigungs- und mikroelektronischen Geräteherstellungsprozessen.