Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9158967 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9158967
Coater / Developer system (1) HMDS (5) HP (2) CP.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine geschlossene Photoresist-Prozesssteuereinrichtung zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es besteht aus einer Reihe fortschrittlicher Steuerungsalgorithmen, die in Echtzeit den Status der chemischen Konzentration und Temperatur des Photoresist für die Verarbeitung von Photoresist auf Wafern messen. Das System bietet somit eine äußerst präzise Steuerung und Überwachung der chemischen Konzentration und Temperatur des Photolacks, die für eine optimale Photolackentwicklung erforderlich ist. TEL MARK8 besteht aus zwei Hauptkomponenten: einer Steuereinheit und einer Messeinheit. Die Steuereinheit besteht aus mehreren Modulen, die eine Datenerfassungsmaschine, ein Signalverarbeitungswerkzeug und eine digitale Steuereinrichtung umfassen. Das Datenerfassungsmodell ist für die Erfassung der relevanten Sensorsignale verantwortlich, die die chemische Konzentration und Temperatur des Photoresist umfassen. Die Signalverarbeitungseinrichtung führt Datenanalyse- und Vorverarbeitungsaufgaben aus, und die digitale Steuerung realisiert die Steueralgorithmen, die die chemische Konzentration und Temperatur des Photolacks nach Bedarf überwachen und einstellen. Die Meßeinheit besteht aus einer Anzahl von Sonden, die an verschiedenen Stellen innerhalb der Kammer installiert sind. Diese Sonden sind für die Messung der chemischen Konzentration und Temperatur des Photolacks verantwortlich, um den Steueralgorithmen eine effektive Einstellung der Prozessparameter zu ermöglichen. TOKYO ELECTRON MARK-8 lässt sich dank seiner Standardschnittstellen einfach in bestehende Setups integrieren. Die Maschine bietet auch eine hohe Zuverlässigkeit, da sie eine strenge Selbstdiagnose an allen Modulen und Instrumenten sowie eine kontinuierliche Datenanalyse durchführt, um sicherzustellen, dass der Fotolack korrekt verarbeitet wird. Es hat auch die Fähigkeit, Daten für zukünftige Analysen zu speichern, so dass es einfach ist, sicherzustellen, dass alle Probleme schnell angegangen werden. Insgesamt ist TEL MARK-8 ein fortschrittliches und zuverlässiges Werkzeug zur Steuerung des Photoresist-Prozesses, das eine extreme Genauigkeit bei der Verarbeitung von Photoresist auf Wafern bietet. Es verfügt über fortschrittliche Steuerungsalgorithmen, die Fähigkeit, Daten für zukünftige Analysen zu speichern, und hohe Zuverlässigkeit, die alle machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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