Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9159072 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die die Beobachtung schnell verändernder Phänomene ermöglicht. Das System ist in der Lage, Submikron-Ultrafeinmuster über kurze Zeiträume mit hoher Präzision zu erkennen und zu steuern. Es verwendet einen Rasterelektronenstrahl, um lichtempfindlichen Film mit Nanometerauflösung und Photoätzleistung zu belichten. TEL MARK8 ermöglicht die Erstellung einer Vielzahl von Mustern auf jedem Substrat, von Substraten auf Polymerbasis wie Polyimid bis zu Substraten auf Metallbasis wie Aluminium. Es hat eine breite Palette von Auflösungen zur Verfügung, mit der höchsten Auflösung 0,2 μ m. Das Gerät hat auch die Fähigkeit, sowohl in X- als auch in Y-Achse mit hoher Auflösung zu scannen. TOKYO ELECTRON MARK-8 ist in der Lage, Substrate bis zu 200mm Größe zu verarbeiten und kann eine Tiefe von 0-400mm in einem gegebenen Schuss verarbeiten. Die Maschine ist mit einem Spin Coater zur gleichmäßigen Beschichtung des Substrats und einer mehrachsigen Stufe für Präzisionsstufen mit einer maximalen Stufengeschwindigkeit von 160 Zentimeter/Minute (cm/min) ausgestattet. Es ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich 3D-Musterung, Projektion Kapillare und 3D-Maskendruck. Diese Merkmale machen MARK8 zum bevorzugten Werkzeug für viele verschiedene Anwendungen in der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie. TEL Mark 8 verfügt über eine integrierte Belichtungssteuerungssoftware, die einfache Betriebseinstellungen für die gewünschte Belichtung und Substratgröße ermöglicht. Das Asset verfügt außerdem über einen schnellen Verschluss, der die Gesamtbelichtungszeit um 22% verkürzen kann. Das Modell nutzt eine High-Limit-Überwachung, um eine schnelle Echtzeit-Datenrückmeldung über die Anlageneffizienz zu ermöglichen, um die Werkzeugleistung zu maximieren. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8 verwendet ein umfassendes In-Linsen-System, das den Primärstrahl genau auf die Objektoberfläche fokussiert. Dieses Gerät verfügt auch über eine nach innen gerichtete Kameraüberwachung, um sicherzustellen, dass der Strahl richtig auf das Substrat fokussiert ist. Die eingebaute Kalibriermaschine bietet dem Anwender eine einfache Einrichtung und schnelle Werkzeugbereitschaftszeiten. Neben TEL MARK-8 verfügt TEL/TOKYO ELECTRON über ein aktives Betreuungs- und Supportprogramm für Anwender. Sie bieten schnellen und zuverlässigen Service und Wartung für die Anlage sowie Software und Hardware-Upgrades. Das Unternehmen bietet auch Schulungs- und Dokumentationsdienste an, um sicherzustellen, dass Benutzer das Beste aus ihren TEL-Produkten herausholen.