Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9180753 zu verkaufen

ID: 9180753
(2) Coater / (2) Developer system Type: SMIF.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die zur Herstellung integrierter Schaltungen auf starren und flexiblen Substraten verwendet wird. Es basiert auf fortschrittlicher Lithographietechnologie, die Licht verwendet, um ein Bild auf eine dünne Resistschicht zu mustern. Das Licht wird von einem hochpräzisen optischen System mit variablem Fokus projiziert und mit mehreren Software- und Hardwarekomponenten gesteuert. Das Gerät unterstützt mehrere Front-End-Optikfunktionen, einschließlich erweiterter Overlay, telezentrische Bildgebung, lange Bildtiefe und High-Volume-Parametersteuerung. Die Maschine enthält außerdem eine automatische Prozessengine zur Optimierung der Prozessparameter in Echtzeit und bietet Downline-Inspektionsmöglichkeiten. Die Resistbeschichtung von TEL MARK8 für integrierte Schaltungen hat eine höhere Präzision und Qualität als andere Photolacksysteme. Es ist auch in der Lage, größere Substrate zu handhaben und kann Substrate bis zu einer Größe von 650 mm handhaben. Seine hohe Genauigkeit und schnelle Gründung tragen wesentlich zur Herstellung integrierter Schaltungen mit extrem hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit bei. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche strukturelle Ungleichgewichtserkennung dem Werkzeug, komplexe 3D-Strukturen zu handhaben und die Produktionsgeschwindigkeit und Präzision zu erhöhen. Das Asset unterstützt auch substratabhängige Parametersätze für eine optimale Bildgebung und bietet mehrere Optionen für Resistbeschichtungsprozesse. Das Modell verfügt über eine schnelle, hocheffiziente automatische Belichtung und entwickelt Geräte. Dieses System gewährleistet eine extrem hohe Präzision und Wiederholbarkeit, die sich ideal für die Prozessoptimierung eignet. Es unterstützt auch Mehrfachbelichtung und entwickelt Modi, wie aperturgesteuerte, flächenselektive und Vollfeld-Bildgebung. TOKYO ELECTRON MARK-8 verfügt auch über eine Wafer-Plasmaablationseinheit, mit der Resistfolien entfernt werden können. Diese Maschine macht TEL MARK-8 ideal für Anwendungen mit Dünnschichtschichten, wie z.B. MEMs. TOKYO ELECTRON Mark 8 verfügt über eine breite Palette von eingebetteten Steuerungstechnologien. Es verfügt über ein Hochgeschwindigkeits-Steuerwerkzeug, das eine präzise Auskleidung, Bandpositionierung und Strukturierung ermöglicht. Es unterstützt auch erweiterte Kommunikationsprotokolle wie Gigabit Ethernet, CAN-Bus und SPI. Dies ermöglicht die nahtlose Integration der Anlage in bestehende Produktionslinien. Mark 8 wurde entworfen, um die höchsten Standards der Sicherheit und Zuverlässigkeit zu erfüllen. Es verfügt über ein automatisiertes Selbstdiagnosemodell, das bei Bedarf Fehler erkennen und Wartungen durchführen kann. Das Gerät liefert auch detaillierte Berichte und Daten für die Analyse, was die Prozessoptimierung einfacher denn je macht. MARK-8 enthält auch ein umfangreiches Spektrum an Sicherheitsmerkmalen, die eine optimale Fertigungsleistung und Zuverlässigkeit gewährleisten.
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