Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9216917 zu verkaufen

TEL (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8) ist ein fortschrittliches Photoresist-System, das das neueste Photolithographie-Dienstprogramm bietet. Mit seiner konfigurierbaren Waverfront-Korrekturfähigkeit ist dieses System in der Lage, hochpräzise Muster über einen Halbleiterwafer zu erzeugen. Automatisierter Betrieb erleichtert ausgerichtete Overlay-, Overlay-Integritätstests und Autofokus. TEL MARK8 unterstützt auch die schrittgestützte Mustererzeugung mit der Fähigkeit zur Feinabstimmung des Teilauflösungsrasters, die für die Mikroverarbeitung in der Halbleiterindustrie äußerst nützlich sind. TOKYO ELECTRON MARK-8 ist mit zwei Leuchten, dem Hauptbeleuchter und dem OPT-Modus ausgestattet. Der Hauptbeleuchter ermöglicht eine Vielzahl von Quarz-, Quarzhalogen-, diffus- und laserbasierten Beleuchtungsquellen für hochauflösende Resists. Der OPT-Modus verfügt über einen speziellen Satz von Beleuchtungsquellen, die Bildlicht über den gesamten Wafer mit größerer Effizienz und Gleichmäßigkeit als der Hauptbeleuchter. TEL Mark 8 bietet eine Vielzahl von Optionen für die Entwicklung und Übertragung von Photolackmustern. Mit dem Precise Imaging Kit können Muster direkt in die Photolackschicht hineinentwickelt werden, wodurch ein Vorplattierungsschritt entfällt. Weiterhin kann mit dem Substratübertragungskit entweder positiver oder negativer Photolack von der Hauptresistschicht auf das darunter liegende Substrat übertragen werden. TEL MARK-8 bietet eine Reihe von Funktionen, um die Prozessoptimierung zu erleichtern. Beispiele für Optimierungsmöglichkeiten sind optimierte Belichtungszeit, variable Belichtungsdosis und eine präzise Steuerung des Belichtungsradius. Das System bietet auch frei definierbare Prozessrezepte für Partikelentfernung, Halbleiterwaferreinigung und Spin-Coating. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8 hinterlässt den Anwender mit den hochwertigen Bildern, die für die Halbleiterproduktion im 21. Jahrhundert notwendig sind. Nicht nur optisch verfeinert es sein Bild während der Photolithographie, sondern bietet Anwendern auch die Flexibilität, die erforderlich ist, um sich ständig ändernden Branchentrends gerecht zu werden. Die automatisierten Funktionen umfassen Bildüberschneidungskorrektur, Overlay-Steuerung und Photoresist-Prozessoptimierung. Die einstellbaren Beleuchtungsquellen und Bilddatenliefertechniken von MARK8 ermöglichen es Anwendern, Präzisionsbilder mit außergewöhnlichem Durchsatz zu erzeugen.