Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237369 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9237369
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
(2) Coater system, 8"
Main controller version: 9821KE
CSB: (3) Loaders
COT (Coat process station):
3 Nozzles
(2) RRC Pumps
Solvent automatic supply: (2) Tank auto supplies, CCSS
Side rinse (EBR)
Back side rinse (BSR)
Dev solution automatic supply: Local
(6) LHP (Low temperature hot plate stations)
Chemical box
Temperature controller
T&H
C/S:
CRA Motor
Mapping sensor
Tweezer
Alarm tower
Display panel
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
COT Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
DEV Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
PRA:
Pincette
Sensor
Bake:
(6) HP Units
(4) Cool units
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK 8 ist eine computergesteuerte Photoresist-Ausrüstung zum Aufbringen einer gleichmäßigen Materialschicht auf die Oberfläche eines Siliziumwafers. Dieses System besteht aus einer Laserbestrahlungseinheit, einem optischen Kopf, einer Probenstufe und einer computergesteuerten Maschine. Das Laserbestrahlungswerkzeug umfasst eine Pumplaserdiode und einen Pumplaserhohlraum. Bei Anlegen eines optischen Signals an die Diode sendet der Laser einen schmalen Infrarotlichtstrahl aus, der dann in den Laserhohlraum geleitet wird, der das Signal auf seine ursprüngliche Leistung noch verstärkt. Das verstärkte Signal wird dann aus dem Hohlraum in den optischen Kopf umgeleitet. Der optische Kopf umfasst mehrere optische Linsen und einen Strahlteiler, der Form und Größe des Ausgangsstrahls bestimmt. Die Probenstufe dient zur Aufnahme des Wafers und ist mit einer computergesteuerten Anlage verbunden, die die präzise Bewegung von Bühne und Laser koordiniert. Das computergesteuerte Modell kann die Belichtung des Lasers je nach den Eigenschaften des verwendeten Photolackmaterials variieren. Dieses Gerät kann auch die Größe und Form des Strahls ändern, um eine hohe Belichtung des Fotolacks zu gewährleisten. Nach der Belichtung wird der Photolack aus dem Wafer entfernt und der Wafer ist zur weiteren Verarbeitung bereit. TEL MARK8 ist ein hochentwickeltes computergesteuertes Photolacksystem, das genaue und gleichmäßige Schichten auf Siliziumwafern herstellen kann. Diese Einheit wird im Wafer-Herstellungsprozess eingesetzt, um komplexe Schaltungen und Komponenten zu bauen, die in vielen verschiedenen Branchen eingesetzt werden. Seine Präzision macht es zu einem idealen Werkzeug für viele Arten von Anwendungen.
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