Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9275964 zu verkaufen

ID: 9275964
(2) Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Strukturierung von Schaltungen bei der Herstellung von Halbleiterchips. Es verwendet eine UV-Lichtquelle, um eine lichtempfindliche Filmmaske über dem Chipsubstrat zu belichten, wo das gewünschte Schaltungsmuster erzeugt werden soll. Der belichtete Photoresistfilm wird dann mit einem chemischen Entwickler geätzt, wobei das nicht benötigte Material entfernt wird, um das Schaltungsmuster auf dem darunterliegenden Substrat zu erzeugen. TEL MARK8 verfügt über eine hochauflösende Laserquelle, die Linienbreiten von 0,3 Mikron oder besser bereitstellen kann. Das Abbildungssystem von TOKYO ELECTRON MARK-8 verwendet eine mehrspaltige Projektionseinheit mit mehreren Spalten, wodurch die meisten Linienmuster präzise und schnell erstellt werden können. Mit TEL/TOKYO ELECTRON MARK8 kann eine Vielzahl von Maskenformen und -mustern verwendet werden, die für verschiedene Substratmuster schnell und einfach geändert werden können. TEL Mark 8 verwendet eine Vielzahl von Werkzeugen, um die höchste Qualität der hergestellten Vorrichtung zu gewährleisten. Diese Werkzeuge umfassen ein Rasterelektronenmikroskop, das hilft, das belichtete Substrat zu scannen, um Defekte zu erkennen. Die automatische Belichtungssteuerung ermöglicht eine automatische Korrektur der Belichtungseigenschaften und gewährleistet eine hohe Genauigkeit im Belichtungsprozess. Die automatische Ausrichtmaschine ermöglicht eine präzise Ausrichtung der Maske auf das Substrat, und das Werkzeug kann einfach in X- oder Y-Richtung ausgerichtet werden. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8 kann für eine Vielzahl von Anwendungen wie Halbleiterlogik, Speicher, Analog und Power-ICs verwendet werden. Mit einer strengen Kontrolle des Herstellungsprozesses lieferte TOKYO ELECTRON Mark 8 hochwertige Ergebnisse mit kleinerer Liniengröße und ausgezeichneter Lithographie-Genauigkeit. Das Photoresist-Asset ist zuverlässig, wiederholbar und einfach zu bedienen, was es zu einer bevorzugten Wahl für die Halbleiterherstellung macht.
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