Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9280944 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9280944
(2) Coater / (2) Developer IFB WEE.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine hochmoderne Photolackanlage zur Herstellung von Halbleitern. Das System ist in der Lage, sehr hochauflösende Muster auf dem Wafer zu erzeugen, die die Herstellung von sehr feinen elektronischen Strukturen ermöglichen. Die Einheit verwendet einen Elektronenstrahl, um eine empfindliche Filmbeschichtung auf den Wafern einem Lichtstrahl auszusetzen. Diese Folie besteht aus einem Photoresist, der am häufigsten aus Polymethylmethacrylat, amorphem Siliciumdioxid und anderen aktiven Isoliermaterialien besteht. Der Elektronenstrahl interagiert mit dem Resist, wodurch er seine Eigenschaften ändert. Dadurch wird auf die Resistschicht auf dem Wafer ein Muster gebildet, mit dem elektronische Bauelemente wie Transistoren aufgebaut werden können. Der Belichtungsvorgang beginnt mit einer Vakuumkammer, in der ein Elektronenstrahl erzeugt wird. Der Strahl durchläuft eine Säulenmaschine, so dass der Strahl fokussiert und über die Dicke des Wafers gesteuert werden kann. Dies geschieht durch die Steuerung des Vakuumdrucks, des Elektronenenergiepegels und der Lichtbogenspannung, die zur Steuerung des Strahls beiträgt. Der Belichtungsprozess wird durch eine elektronische Steuereinheit geregelt, die sowohl den Belichtungsfortschritt überwacht als auch regelt. Mit diesem Tool kann der Benutzer Variablen wie Belichtungsenergiepegel, Sperrhöhen und Wafertemperaturen eingeben, so dass jede Belichtung die optimalen Bedingungen für die spezifischen Anforderungen der zu erstellenden Schaltung aufweist. Die Anlage ist mit einer Wafer-Handhabungseinheit ausgestattet, die das Be- und Entladen der Substrate in das Modell automatisiert. Dadurch entfällt die manuelle Handhabung, wodurch die Möglichkeit von Beschädigungen, Verschmutzungen und Fehlausrichtungen reduziert wird. Die gesamte Anlage ist automatisiert, so dass der Benutzer während des Belichtungsprozesses nicht anwesend sein muss, sofern nicht anders gewünscht. Schließlich ist das System in der Lage, Belichtungsergebnisse zu profilieren, zu speichern und zusammenzufassen. Dadurch kann die Konformität mit vorgegebenen Vorgaben überprüft werden, was zu einer höheren Genauigkeit der Schaltungsprofile führt. Insgesamt ist TEL MARK8 eine fortschrittliche Photolackeinheit, die Anwendern eine zuverlässige und leistungsstarke Möglichkeit bietet, hochwertige und genaue Schaltungsmuster für eine Vielzahl von Anwendungen zu erstellen.
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