Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9280945 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die im lithographischen Verfahren verwendet wird. Die Einheit ist dazu ausgelegt, ein lichtempfindliches Harz, einen sogenannten Photoresist, auf ein Substrat wie einen Siliziumwafer aufzubringen, der zur Erzeugung einer Halbleiterschaltung verwendet wird. TEL MARK8 Photolacksystem verwendet eine computergesteuerte Präzisionsautomatisierungseinheit, um eine gleichmäßige Dünnschichtschicht aus Photolack auf den Wafer aufzubringen. Die Maschine ist mit einem hochgenauen Schrittmotor ausgestattet, der das Substrat in einer kreisförmigen Bewegung genau positioniert. Die präzise Bewegung verhindert das Überlappen des Photolacks und sorgt für konstante Dickenergebnisse über das Substrat. Der Photolack wird mit einem Sprühkopf aufgebracht. Der Druck des Schrittmotors drückt ein Niederdruckvolumen von Photolack durch die Düse und bildet Tröpfchen, die gleichmäßig über das Substrat verteilt sind. Ein integriertes automatisiertes Reinigungswerkzeug reduziert zwischendurch den Aufbau des Photolacks auf der Düse und verhindert Verunreinigungen. Die abgeschiedene Photolackschicht wird einer UV-Maske ausgesetzt, die speziell zur Erzeugung der gewünschten Halbleiterschaltungen ausgebildet ist. Die Belichtung bewirkt eine chemische Reaktion im belichteten Photoresist, wodurch sich die Löslichkeitswerte in der ursprünglichen Schicht ändern. Anschließend wird die Schicht durch eine Nachbelichtungsbacke (PEB) gelegt. Mit der Wärme aus diesem Schritt löst sich der verbleibende belichtete Photolack mit hoher Löslichkeit in einer speziellen Entwicklerlösung auf und hinterlässt ein durch den unbelichteten Photolack gebildetes gehärtetes Muster. TOKYO ELECTRON MARK-8 ist in der Lage, extrem präzise Ergebnisse zu erzielen, und ist in der Lage, komplizierte Merkmale so klein wie 50 Nanometer in der Größe zu schaffen, so dass es geeignet für den Einsatz in der Geräteherstellung. Die automatisierte Reinigungsanlage reduziert die Wartung des Bedieners und führt zu einem konsistenteren Produkt. MARK-8 Photolackmodell ist ein unschätzbares Werkzeug bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen.