Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9305864 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die speziell für hochauflösende, hochpräzise Photolithographie entwickelt wurde. Es bietet eine leistungsstarke Kombination von Funktionen, um eine effiziente Produktion komplexer integrierter Schaltungen zu ermöglichen, einschließlich Submikron-Auflösung, einem fortschrittlichen Photomasken-Ausrichtungssystem und einem erweiterten Belichtungsbereich. Das Gerät verwendet hochmoderne Resistmaterialien und -prozesse, um eine präzise Funktionsdefinition zu gewährleisten, während die vorgebackene Photomasken-Technologie für Hochleistungsresistenzen sorgt. Eine Vollfeldscanner-Maschine sorgt für genaue Ausrichtung und genaue optische Belichtung, während die Funktion des erweiterten Dynamikbereichs (Extended Dynamic Range, EDR) eine überlegene Bildtreue bietet. TEL MARK8 verwendet ein fortschrittliches Stepper-Tool zur präzisen Formelementdefinition mit einer ultrapräzisen Ankerpunkt-Ausrichtungsfunktion für genaue Platzierungen von Sub-Mikron-KEs. Das Asset enthält auch ein Auto-Fokus-Modell für genaue Ausrichtung und Objektiv Fokussierung. Darüber hinaus umfasst das Gerät eine Reihe von Werkzeugen und Technologien zur Messung der Objektivleistung und der Profilanpassung sowie zur Steuerung von Resistprofileigenschaften und anderen Parametern. Die Systemhardware umfasst eine Resistliefereinheit, die Resist an den Wafer liefert, sowie eine Scan-Steuereinheit zur Steuerung der Ausrichtung und widersteht der Belichtung, die eine präzise Steuerung der Funktionen ermöglicht. Das hochauflösende optische Modul umfasst eine 12-polige Spiegelmaschine sowie eine Doppelstab-Kugelheizung, einen Ultraviolett-Sender, einen Laser-Spot-Monitor und einen Bildbetrachter. Ein integrierter Protokollgenerator ermöglicht die vollständige Steuerung und Anpassung der während des Photolithographie-Prozesses verwendeten Parameter, während die Anwendungssoftware leistungsstarke Datenanalysefunktionen bietet. TOKYO ELECTRON MARK-8 bietet auch Präzisionsmesstechnik in einer Vielzahl von Modi, einschließlich Hellfeld-Bildgebung, Rasterelektronenmikroskopie (SEM), reflektierte Bildanalyse und variable Winkel-Lichtstreuung. Alle diese Messtechniken sind in Echtzeit verfügbar und werden auf einer Architektur und Durchsatzebene unterstützt, die für die anspruchsvollsten Fertigungsdesigns geeignet ist. Insgesamt ist MARK-8 Photolithographie-Tool eine leistungsstarke, vielseitige und zuverlässige Maschine, die überlegene Leistung und präzise Funktionsauflösung bietet. Unterstützt alle der fortschrittlichsten Photomasken-Technologie, mit erweitertem Dynamikbereich, ist es ideal für eng strukturierte Schaltungen und Hochserienproduktion.