Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314258 zu verkaufen

ID: 9314258
Wafergröße: 4"
(4) Developer system, 4".
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 PhotoResist ist ein fortschrittliches Bildgebungssystem, das die ultimative Genauigkeit und Präzision für die Photolithographie-Produktion bietet. Das Gerät ist ideal für den Einsatz in der Entwicklung von Hochleistungs-Halbleiter- und Flachbildschirm-Anwendungen. Die Maschine besteht aus einer hochpräzisen Optikeinheit, die auf einer Vakuumkammer montiert ist und die eine RGB-Laserquelle, ein CCD-Bildgebungswerkzeug und eine Bewegungsstufe für Probenbelastung und Bildgebung enthält. Diese Kombination von Präzisionsgeräten ermöglicht es TEL MARK8, seine maximale Auflösung von 15 nm zu erreichen, was ein beispielloses Maß an Klarheit in der Photolithographie bietet. Die Optik ist so ausgelegt, dass sie das Profil des Laserstrahls genau steuert und einen nahezu parallelen Lichtstrahl bei der gewählten Wellenlänge erzeugt. Der Strahlwinkel ist einstellbar, um einen optimalen Fokus und eine effiziente Übertragung des Bildes auf den Wafer zu gewährleisten. Das CCD-Bildverarbeitungsmaterial wurde entwickelt, um ein Bild der Probe mit einer Auflösung von bis zu 1,2 Mal höher als die maximale Auflösung von 15 nm zu erfassen, was einen Detaillierungsgrad bietet, der in Photolithographiesystemen nie zuvor gesehen wurde. Die Bewegungsstufe ist in der Lage, sowohl die Neigung als auch die Rotation der Probe gegenüber dem Laser zu steuern, wodurch eine vollständige Übertragung des Bildes auf den Wafer gewährleistet ist. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON MARK-8 in der Lage, mehrere Passbilder zu erzeugen, so dass der Benutzer Bilder mit verschiedenen Lichtimpulsen erstellen kann. Dies bietet die Flexibilität, zwischen Operationen zu wechseln, z. B. komplizierte Muster mit einem einzigen Impuls zu erzeugen oder verschachtelte Bilder für eine größere Abdeckung zu erzeugen. Darüber hinaus ist das Modell auch in der Lage, Operationen wie Ätzen und Depaint durchzuführen sowie einzigartige Belichtungsmuster wie Doppelschichtbelichtung oder spezielle Gelbbelichtung zu handhaben. Die Kombination aus Präzisionsoptik, fortschrittlichen Bildgebungstechniken und starken Leistungsfähigkeiten von TOKYO ELECTRON Mark 8 macht dies zur idealen Lösung für Photolithographieaufträge in der Halbleiter- und Flachbildschirmindustrie. Das Gerät ist in der Lage, Bilder mit einem hohen Maß an Klarheit und Detail zu liefern, so dass eine genaue Produktion und Ergebnisse, die von anderen bildgebenden Systemen unübertroffen sind.
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