Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314262 zu verkaufen
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ID: 9314262
Wafergröße: 8"
(1) Coater / (2) Developer system, 8"
ADH
(8) HP
(3) COL
Inline
Interface.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 ist eine Photolackausrüstung für den Einsatz in Halbleiterplatten. Es wird zur Herstellung ultradünner Schaltungen auf Wafern und ICs sowie für Maskierungs- und Lithographieverfahren verwendet. Das System wurde entwickelt, um eine zuverlässige und genaue Auflösung sowie eine hochpräzise Registrierung zu gewährleisten. Das Gerät kombiniert eine Hochleistungs-UV-Quelle, eine Strahlgeometriemaschine und einen Projektionspunkt, um präzise Gleichmäßigkeit bei der Herstellung fortgeschrittener Schichtmuster auf dem Wafer zu erzielen. Das Werkzeug ist in der Lage, klar definierte Bilder in Form einer Maske oder eines lithographischen Musters zu erzeugen. Das Asset enthält auch einen Controller, der eine Reihe verschiedener Steuerungsmodi bereitstellt, einschließlich Konstantzeit, Konstantstrom und anderen. Der Controller kann auch verwendet werden, um verschiedene Aspekte des Modells zu speichern und zu steuern, einschließlich Kalibrierung, Vorrastersteuerung und zusätzliche Parameter der Musterbildung. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von Sensoren und anderen Geräten verbunden, um eine breite Palette von Funktionen bereitzustellen. Es kann beispielsweise verwendet werden, um den Fokus und die Ausrichtung jeder Schicht zu messen, und es kann auch verwendet werden, um das Resistprofil jeder Schicht zu erfassen. Darüber hinaus kann es verwendet werden, um Profile der Waferoberfläche zur späteren Überprüfung aufzuzeichnen. TEL MARK8 wurde entwickelt, um eine breite Palette von Photoresists zu unterstützen und eignet sich für eine Vielzahl von Behandlungen wie thermische und Ionenstrahlbehandlung. Es ist auch in der Lage, mehrere Nachbearbeitungsvorgänge wie Ätzen, Abscheiden und Glühen. Das System wurde entwickelt, um überlegenen Durchsatz und Genauigkeit zu bieten, was es zu einer idealen Wahl für High-End-Halbleiterprodukte macht. Das Gerät ist auch für eine einfache Bedienung und Wartung ausgelegt und ist mit einer Vielzahl von vorhandenen Werkzeugen und Geräten kompatibel. Insgesamt wurde TOKYO ELECTRON MARK-8 Photoresist Machine entwickelt, um den Prozess der Herstellung ultradünner Schaltungen auf Wafern und ICs zu vereinfachen und eine präzise Auflösung, hohen Durchsatz und ausgezeichnete Zuverlässigkeit zu bieten. Es ist eine ideale Wahl für High-End-Halbleiterprodukte.
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