Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9314983 zu verkaufen

ID: 9314983
Weinlese: 1997
(2) Coater system No interface 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist ist eines der branchenführenden Systeme zur zuverlässigen Konstruktion, Entwicklung und Herstellung von hochwertigen integrierten Schaltungen. Seine innovativen und vielseitigen Eigenschaften ermöglichen die Herstellung von komplexen und komplizierten Designs mit einer minimalen Menge an Abfall, mit minimalem Setup, Zykluszeit und Kosten. TEL MARK8 verfügt über ein integriertes Pyrometer und eine Kühlplatte und eine beheizte Kammer, die Temperaturen zwischen 500 und 1000 Grad Celsius erreichen kann. Es verfügt auch über ein Vakuum-UV-Polarisationsoptiksystem, das die Polarisations- und Fokussierbarkeit der lithographischen Projektoren optimiert. Dadurch wird sichergestellt, dass eine möglichst präzise Bildgebung erreicht wird. Darüber hinaus blüht die Einheit in der Bereitstellung benutzerfreundlicher einstellbarer und wiederholbarer Prozessparameter. Dies ermöglicht hochoptimale und konsistente Lithographievorgänge über längere Zeiträume. TOKYO ELECTRON MARK-8 verfügt auch über ein Capacity Drain (CD) Modul, das das Volumen des in der Kammer gehaltenen Resists überwacht und steuert, wodurch konsistente und wiederholbare Ergebnisse erzielt werden können. Darüber hinaus ermöglicht das Photo Asher (PA) Modul eine frühzeitige Entfernung des belichteten Resists und oxidationsfreie Ätzprozesse. Die Visual Inspection Machine (VIS) von Mark 8 stellt sicher, dass die Lithographieergebnisse genau auf die Prozessoptimierung überwacht werden. Es kann verwendet werden, um Rückstände von den Waferoberflächen zu erkennen und zu entfernen sowie die Musterintegrität vor dem Ätzen zu überprüfen. Mit dem Total Automation Asset (TAS) des Tools können verschiedene Aufgaben automatisiert werden, sodass Anwender mehr Durchsatz und Qualität erzielen können. Es unterstützt den datengesteuerten Betrieb, um Lithographieergebnisse zu inspizieren und Trends zur Optimierung der Prozesse zu identifizieren. Schließlich wurde das MARK8-Modell für Bildsensoren entwickelt, um eine schnelle und genaue Datenanalyse zu ermöglichen und den Anwendern die Optimierung und Feinabstimmung der Ausrüstungsbedingungen zu ermöglichen, um eine hohe Genauigkeit der Lithographie sicherzustellen. MARK-8 Photoresist-System ist ein leistungsfähiges und effizientes Werkzeug für konsistente, kostengünstige und genaue Lithographie. Seine erweiterten Funktionen ermöglichen es Benutzern, komplizierte Designs mit minimalen Rüstkosten und Zykluszeit zu entwickeln, während seine integrierten Funktionen Präzision gewährleisten und die Gesamtproduktivität verbessern.
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