Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293592869 zu verkaufen

ID: 293592869
Weinlese: 1988
Coater / Developer systems 1988 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK II ist eine Photoresist-Ausrüstung für die direkte Abbildung von bis zu 4 Zoll-Wafern. Die Hauptkomponenten des Systems sind die hochvergrößerte Projektionsoptik, die Präzisionsstufe sowie der integrierte PC und die integrierte Software. Die Projektionsoptik von TEL MARK II bietet hochauflösende Bildgebungsfunktionen bis zu 814 mm × 1,2 mm und Vergrößerungsverhältnisse bis zu 1,75. Sein Abbildungsobjektiv ist ein Multielement-Zoom, der von einer integrierten Halogenlampe beleuchtet wird. Die doppelten optischen Querschnitte der Linse ermöglichen sowohl Tief- als auch Hochvergrößerung. Darüber hinaus verfügt das Objektiv über eine geschlossene Schleife automatische Fast-Zoom-Betrieb, um schnell zwischen verschiedenen Vergrößerungsstufen zu bewegen. Die Präzisionsstufe von TOKYO ELECTRON MARK II ist für einen reibungslosen Betrieb und eine schnelle Photoresist-Bewegung ausgelegt. Das Gerät verwendet einen piezoangetriebenen Motor, um die Waferstufe mit bis zu 1 mm pro Sekunde präzise zu bewegen. Die Bühne wird von einer internen Speichermaschine verwaltet, die bis zu 10.000 Wafer-Koordinaten speichert und es Benutzern ermöglicht, sich schnell zwischen ihnen zu bewegen. Der integrierte PC und die Software des Werkzeugs verarbeiten mehrere Bildformate und sind einfach für verschiedene Waferabmessungen programmierbar. Es bietet auch erweiterte Spleißfunktionen zum nahtlosen Zusammenfügen von Bildern aus verschiedenen Abschnitten des Wafers. Die Software bietet auch erweiterte Funktionen wie programmierbare Belichtungssequenzen, Autofokus und einstellbare Bildgebungsparameter. MARK II ist ideal für eine effiziente, genaue Fotoresist-Bildgebung von bis zu 4-Zoll-Wafern. Seine ultra-hohe Vergrößerungsoptik und Präzisionsstufe bieten die erforderliche Genauigkeit und Auflösung, während sein PC und seine Software eine Vielzahl von erweiterten Bildgebungsfunktionen bieten.
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