Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9144969 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON MARK II
ID: 9144969
Wafergröße: 6"
Developer track systems, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK II ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Entwicklung und Verarbeitung von Halbleitern. Dieses System ist eine umfassende Lösung, mit der lithographische Prozesse durch Unterdrückung erzeugt werden können. Es verwendet einen Nanomustergenerator sowie einen integrierten linearen Servoaktor, der hohe Präzision, wiederholbare Druck- und Ausrichtungsaufgaben bietet. TEL MARK II sorgt für optimale Effizienz und Genauigkeit beim Bau von Halbleiterbauelementen. Die Hauptprozesse der Einheit sind Strukturierung, Post-Exposure-Backen (PEB) und Strippen. Beim Strukturieren wird ein Resist auf ein Substrat gespendet und Licht ausgesetzt. Der Resist erweicht und verändert seine Textur, so dass die korrekte Ausrichtung der Maske und des Substrats möglich ist. Danach wird der PEB-Zyklus verwendet, um den Resist zu härten und die Genauigkeit des erzeugten Musters zu erhöhen. Schließlich wird der Resist vom Substrat abgestreift und das Muster verfestigt. Dieser gesamte Vorgang wird für jede Schicht der Vorrichtung wiederholt, um eine vollständige und genaue Konstruktion zu schaffen. Die Maschine enthält verschiedene Komponenten, wie Robotik, eine Steuerung und eine Be-/Entladestation. Es verfügt auch über eine Kammer und Vakuum-Werkzeug für effizientes Backen und Belichtung von Resist, und eine Maske Ausrichtung Asset für die präzise Platzierung der Masken. TOKYO ELECTRON MARK II hat auch Unterstützung für eine breite Palette von Substraten, von 1-D bis 3-D-Strukturen, einschließlich Si, GaAs, ZnSe und viele mehr. Neben seiner unübertroffenen Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bietet MARK II außergewöhnliche Flexibilität. Es verfügt über ein eingebautes Wafer-internes Verbindungsmodell, das es ermöglicht, Substrate mühelos von der Ausrüstung zu verbinden und zu trennen. Dies ermöglicht es Benutzern, Muster mit mehr Leichtigkeit, Geschwindigkeit und Genauigkeit neu zu drucken. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON MARK II ein unglaublich leistungsfähiges und zuverlässiges Photolacksystem. Durch die Verwendung von Nanoskala-Präzision und integriertem linearen Servoaktor bietet das Gerät außergewöhnliche Lithographieverfahren für den Bau von Halbleitern. Darüber hinaus ermöglichen uns das flexible Design und die Unterstützung für eine Vielzahl von Substraten, eine breite Palette von Geräten zu erstellen. TEL MARK II ist eine ausgezeichnete Wahl für die Entwicklung und Verarbeitung von Halbleitern.
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