Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226205 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON MARK II ist eine Photoresist-Ausrüstung des japanischen Elektronikunternehmens TEL. Dieses System ist eine halbautomatisierte Vollfeld-Bildgebungstechnologie, die die höchste Wiederholbarkeit und Flexibilität der Prozesse auf dem Photoresist-Markt ermöglicht. Es ist eines der umfassendsten verfügbaren Photolacksysteme und bietet eine Vielzahl von Funktionen und erweiterten Funktionen. Die Hauptkomponenten der Einheit sind die Ausricht-, Bühnen- und Resiststation. Der Aligner automatisiert den Waferausrichtungsprozess und verkürzt den Zeitaufwand für die Probenpositionierung. Es erhöht auch den Durchsatz, indem Fehler beseitigt werden, die bei manuellen Ausrichtungsprozessen auftreten können. Die Stufe verfügt über einen dreiachsigen Positionierer für maximalen Durchsatz und genaue Positionierung mit Nanometerauflösung. Die Resiststation ist eine vollautomatische Maschine, die mehrere Resists gleichzeitig abgeben kann, was zu einem höheren Durchsatz und geringeren Kosten führt. TEL MARK II-Tool umfasst auch Scanner und Messtechnik-Funktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, detaillierte quantitative Messungen vieler Parameter, einschließlich Foliendicke, Materialtyp und Topographie zu erhalten. Die Anlage verfügt über ein Wafer-Handling-Modell, das einen universellen Halter umfasst, der nicht nur traditionelle Wafer, sondern auch eine breite Palette anderer Substrate unterstützt, einschließlich MEMS-Wafer, gebundene Wafer und Dünnschichtmuster. TOKYO ELECTRON MARK II bietet auch erweiterte Kontrollen, die es dem Benutzer ermöglichen, den Photolackprozess zu überwachen, zu analysieren und zu modifizieren. Eine erweiterte Prozesssteuerung, wie der Modus mit einer geringen Leistung, ermöglicht es dem Benutzer, Energie zu sparen, indem er einen Prozess mit möglichst niedrigen Leistungsstufen durchführt. Darüber hinaus bietet das System erweiterte Überwachungsfunktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, Echtzeitdaten aus den verschiedenen Prozessschritten anzuzeigen und die Prozessparameter im Handumdrehen anzupassen. MARK II sorgt für hochpräzise Ergebnisse bei geringen Schwankungen, was sowohl Kosten als auch Zeit reduziert. Diese Eigenschaften machen das Gerät in Kombination mit seiner Flexibilität zu einem zuverlässigen und effizienten Werkzeug für die Photolackverarbeitung.