Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9269135 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON MARK II
ID: 9269135
Wafergröße: 6"
Coaters, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON MARK II ist eine Photoresist-Ausrüstung, die zur Performance-Strukturierung in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Ziel des Systems ist es, hochwertige Halbleiterphotomasken für die Maskenlithographie mit fortschrittlicher elektronischer Projektionsausrichtungstechnologie zu erstellen. Die Einheit verfügt über einen achtachsigen Maskenausrichtmechanismus mit einer 10 "großen linearen Stufe, hochauflösender Projektionsausrichtung und hochgenauer Laserinterferometrie. Diese fortschrittliche Ausrichtungstechnologie ermöglicht eine erhöhte Maskentreue und Stabilität von wiederholten Musterprozessen. Die Maschine nutzt eine integrierte Detektoreinheit und erweiterte Bildanalysefunktionen, um Muster auch bei geringem Kontrast und geringen Linienbreiten genau zu erkennen und zu identifizieren. Dies ermöglicht eine effiziente Modifikation komplexer Muster sowie eine hochpräzise Strukturierung und Inspektion. TEL MARK II verwendet ein hochauflösendes optisches Bildgebungswerkzeug mit einer Fokustiefe von 1,4 bis 5,5µm, um Licht genau auf den Maskenwafer zu projizieren. Dies ermöglicht eine präzise Ausrichtung zwischen Maskenscheibe und Maskierungsmittel. Darüber hinaus ist das Asset mit einer Kamera ausgestattet, die bis zu 64 Megapixel-Bilder aufnehmen kann. Das Modell umfasst auch eine Reihe automatisierter Messinstrumente wie Beugung, elastische Streuung, Photolumineszenz, sekundäre Ionenmassenspektrometrie und Flugzeit-Massenspektrometrie. Dies trägt zur Gewährleistung der Genauigkeit und Effizienz der Datenanalyse bei. Schließlich bietet das moderne, benutzerfreundliche Design der Geräte eine intuitive und sichere Umgebung für den Betrieb von Software. Dazu gehören eine grafische Benutzeroberfläche sowie die Integration von Programmiersprachen. Darüber hinaus umfasst das System eine Vielzahl von Software-Tools und Bibliotheken, die Anwendern helfen, den Betrieb zu rationalisieren und Ausfallzeiten zu vermeiden. Alles in allem machen die fortschrittlichen Eigenschaften der TOKYO ELECTRON MARK II Einheit es zu einem idealen Werkzeug für Photolackanwendungen in der Halbleiterherstellung. Es bietet zuverlässige, leistungsstarke Musterung und kann zur Verbesserung der Betriebseffizienz beitragen und gleichzeitig eine erstklassige Datenanalyse gewährleisten.
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