Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV #293669153 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV
ID: 293669153
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
Sputtering system, 6" 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark IV Photoresist Equipment ist eine umfassende Lösung, die fortschrittliche Lithographie-Prozesse wie Deep Ultra Violet (DUV), Contact Photo-Lithography und optische Näherungskorrektur (OPC) ermöglicht. Dieses System ermöglicht die Herstellung komplexer hochauflösender integrierter Schaltungen (ICs) aus Wafern. TELEFON IV Zeichen integrieren mehrere Prozesswerkzeuge, wie ein Mehrwellenlängenvorsprungsaussetzungswerkzeug, eine vertikale Spur, eine photowiderstehen Spur und ein automatisierter, widersteht behandelnder Einheit, um eine einzelne Plattform zu bilden. Das Mehrwellenlängenvorsprungsaussetzungswerkzeug kann komplizierte Muster, wie Gerätverdrahtung und Formen auf Oblaten ziehen, die in einem Photowiderstehen erschienen worden sind. Die Maschine verwendet eine Kombination aus Laserbeleuchtung und Elektronenstrahlbeleuchtung, die die Möglichkeit bietet, Linienbreiten so dünn wie 0.3DUV zu zeichnen. Die vertikale Spur ist verantwortlich für die Prozesssteuerung, die Verwaltung der Positionierung und Orientierung von Wafern, während sie dem Projektionswerkzeug ausgesetzt sind. Fortgeschrittene Algorithmen, wie OPC, werden verwendet, um Muster zu optimieren, um gewünschte Linienbreiten zu erreichen und einheitliche Bilder auf die Wafer zu drucken. Die Fotoresistbahn steuert die Entwicklung und das Spinnen von Photoresists für die richtige Entwicklung und Ätzung des Wafers. Automatisierte Resist-Handling-Systeme bieten präzise Kontrolle über die Handhabung und Lagerung von Wafern in jeder Phase der Verarbeitung - vom Be- und Entladen von Wafern bis zur Abgabe von erforderlichem Resist, um eine gleichmäßige Entwicklung während der Herstellung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Mark IV bietet eine umfassende Lösung für Photolithographie-Prozesse, die es IC-Designern ermöglicht, die Vorteile fortschrittlicher Technologien bei hoher Auflösung und Genauigkeit zu nutzen. Das Asset kann zur Herstellung von Transistoren, Speicherchips, Logikchips, zellbasierten Logikchips und einer Vielzahl anderer Arten von ICs verwendet werden. Seine Fähigkeit, sich an unterschiedliche Prozessabläufe anzupassen, und seine kompakte Bauweise machen es zu einer idealen Wahl für Großserienhersteller. Das Modell basiert auf jahrelanger branchenführender Erfahrung von TEL und TOKYO ELECTRON und wurde entwickelt, um konsistente Ergebnisse und maximale Fertigungseffizienz zu bieten.
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