Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV #9282004 zu verkaufen

ID: 9282004
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2011
Sputtering system, 8" 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK IV ist eine Photoresist-Ausrüstung, die typischerweise zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist ein plattformagnostisches System, das eine breite Palette von Substraten unterstützt, wie Siliziumwafer, Verbundhalbleiter und Silizium-auf-Isolator (SOI) -Wafer. Das Gerät ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen konzipiert, darunter Photomaske, Direktabbildung, Photolithographie, Dünnschichtabscheidung, Ätzen und Mehrkanalphotolithographie. Die Photoresistmaschine TEL MARK IV verfügt über ein hochauflösendes optisches Abbildungswerkzeug, das für verschiedene Substratgrößen konfiguriert werden kann. Die Anlage ist mit einer automatisierten motorisierten Stufe ausgestattet und eignet sich somit für Hochdurchsatzprozesse. Zusätzlich verfügt TOKYO ELECTRON MARK IV über ein eingebautes Beleuchtungsmodell, das die Beleuchtung von Substraten mit unterschiedlichen Winkeln und Intensitäten ermöglicht. Ein wesentliches Merkmal des Geräts ist sein modulares Paket, das eine Reihe von Optionen bietet, um Mark IV an eine bestimmte Anwendung anzupassen. Es kann mit einer On-Platform-Beschichtungseinheit konfiguriert werden, so dass der Benutzer die Resistbeschichtungsbedingungen steuern kann. Diese Option umfasst auch manuelle und automatisierte Spin-Coat-Prozesse und plasmaaktivierte Resist-Prozesse. Zusätzlich kann mit der optionalen Stufenheizeinheit eine Temperaturregelung erreicht werden. TEL/TOKYO ELECTRON Mark IV ist ein schnelles und einfach zu bedienendes System, das ideal für Prototyping und Entwicklung ist. Mit seiner hohen Genauigkeit und Hochgeschwindigkeitsbildgebung liefert das Gerät auch bei komplexen Substraten hervorragende Ergebnisse. Darüber hinaus kann die Maschine für eine Vielzahl von Prozessen konfiguriert werden, so dass sie in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann.
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