Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149603 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine Photoresist-Verarbeitungsanlage, die für den Einsatz im lithographischen Prozess der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es bietet eine erhöhte Kontrolle über Resistfunktionen und erweiterte Oberflächenplanarisierungsfunktionen. TEL Mark V ist in der Lage, hochdichte Resistdesigns und empfindliche Merkmale mit Genauigkeit und Präzision zu verarbeiten. Das System verwendet eine geschlossene Einheit mit beheizten und gekühlten Stufen, mehreren Gasquellen und anderen Komponenten, um eine saubere, temperaturgesteuerte und kontaminationsfreie Umgebung zu schaffen. Es ist in der Lage, sehr hohe Genauigkeit und Prozesswiederholbarkeit zu verarbeiten, einschließlich Gleichmäßigkeit der Bewegung, Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle und Oberflächenplanarisierung. Die Maschine ist optimiert, um eine hochgenaue Photolackbeschichtung und -ätzung zu erreichen. Es umfasst eine Resistmischkammer, einen Schleuderbeschichtungskopf, ein Resistabisolierwerkzeug und eine Kochplatte, die bei der Resistentfernung hilft. Weitere Merkmale sind eine Resisttrockenkammer, eine Ätzkammer und ein Kühler zur Nachkühlung von Vorrichtungen. TOKYO ELECTRON MARK-V wurde mit einer integrierten Benutzeroberfläche entwickelt, die es Gerätetechnikern ermöglicht, Einstellungen einfach an bestimmte lithographische Anforderungen anzupassen und zu ändern. Es ermöglicht schnelle Änderungen von Parametern wie Geschwindigkeit und Temperatur, Druck, Eintauchzeiten und Leistungsstufen, um präzise Ätz- und Beschichtungsprozesse zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt MARK-V über eine ausgeklügelte Prozessüberwachung, die in Echtzeit Rückmeldungen zum Status von Prozessen und Fehlern liefert und eine enge Prozesskontrolle für die wiederholbare Geräteherstellung gewährleistet. Dieses Modell passt auch die Einstellungen automatisch an, um eine optimale Leistung der Ausrüstung zu gewährleisten. Insgesamt ist das Photoresist-System TEL MARK-V ein fortschrittliches Werkzeug für die Geräteherstellung, das eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Prozesse bietet. Die integrierte Benutzeroberfläche und die integrierte Prozessüberwachungseinheit ermöglichen eine Anpassung an eine Reihe von Lithographieanforderungen, während die zahlreichen Funktionen fortschrittliche Prozesse wie Ätz- und Resistbeschichtung unterstützen. TOKYO ELECTRON Mark V bietet eine zuverlässige und effiziente Maschine für die Photolackverarbeitung.