Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293591398 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist ein Photoresist-Gerät, das eine Lichtquelle verwendet, um Schaltungsmuster auf einer Halbleiteroberfläche zu erzeugen. Das System wird üblicherweise in zukünftigen Geräteherstellungs- und F & E-Prozessen eingesetzt. Die Lichtquelle der Einheit besteht aus einem Abtastlaser, der seinen Ausgang auf die Oberfläche eines mit Photoresist beschichteten Halbleiterwafers strahlt. Der Laser verwendet unterschiedliche Ablenkwinkel, um unterschiedliche Muster auf dem Wafer zu erzeugen. Der Photolack ist eine Art strahlungsempfindliches Material, das das Laserlicht absorbiert und so formuliert ist, dass es mit der Intensität des Laserlichts reagiert. Durch Variation der Ablenkwinkel können mit kleineren Merkmalen hochauflösende Schaltungsmuster erzeugt werden. Die Laseroptiken sind linsenparabolisch mit einer Parallelplattenanordnung ausgebildet. TEL Mark V verfügt auch über mehrere Arten von integrierter Optik, einschließlich einer telezentrischen Linse für höhere Präzision Kontrolle. Der Laser hat zudem eine erweiterte Brennweite für eine bessere Ausleuchtung und kann zur Feinabstimmung des Fokus automatisch eingestellt werden. TOKYO ELECTRON MARK-V verfügt auch über eine Vielzahl von verschiedenen Ausrichtungsfunktionen wie eine Laser Beam Alignment Machine (LBAS), um Ausrichtungsuntersuchungen zu programmieren und eine Vielzahl von verschiedenen Nachbelichtungsverfahren zur Feinabstimmung des Prozesses zu verwenden. TOKYO ELECTRON Mark V verfügt außerdem über eine proprietäre Mask Data Interface (MDI) -Schicht für einen schnelleren Datenaustausch zwischen den verschiedenen Softwareschichten. Dies verbessert den Durchsatz des Geräts, indem Daten hin und her gesendet werden können. Zum Werkzeug gehören auch reinraumkompatible Belichtungs-/Ausrichtstationen, die in verschiedenen Topologien für unterschiedliche Durchsatzanforderungen konfiguriert werden können. Das Asset ist in der Lage, mit einzelnen Wafer-Expositionsgeräten zu arbeiten oder mit Synchronisationstechniken auf mehreren Wafern zu exponieren. Die Hauptvorteile von Mark V sind sein hoher Durchsatz, kleinere Funktionsgrößen und seine Fähigkeit, komplexe Datenübertragung zu handhaben. Es ist ideal für fortgeschrittene Geräteherstellung und Forschungs- und Entwicklungsprozesse.