Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293596582 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine multifunktionale Photolackanlage für die Halbleiterherstellung. Es ist ein fortschrittliches, computergesteuertes Clusterwerkzeug, das eine Vielzahl von Substraten verarbeiten kann. Mit Elektronenstrahltechnologie ist es in der Lage, hochpräzise Muster bis zu 150 Nanometer. Das System kann verwendet werden, um Wafergrößen bis zu 8 Zoll sowie einzelne oder mehrere Substrate zu handhaben. Der eingebaute Scanner ermöglicht eine schnelle Abbildung und Ausrichtung von Mustern in hoher Auflösung. Es verfügt auch über eine eingebaute Flüssigkristall-Abbildungseinheit und ein optisches Mikroskop, um eine hochpräzise Fokussierung von Photomasken zu ermöglichen. TEL Mark V verwendet das V-CVD-Verfahren, das eine Variation der chemischen Dampfabscheidung darstellt. Dieses Verfahren verhindert die Oxidation und Abscheidung von Polymeren, die Oberflächendefekte verursachen können. Es sorgt auch für gleichmäßige Oberflächenschichten und erhöht die Waferausbeute. TOKYO ELECTRON MARK-V ist auch mit Drift-Kompensationstechnologie ausgestattet, die eine genaue Strahlpositionierung ermöglicht, um hochauflösende Muster ohne Positionsfehler zu erzeugen. Für maximale Ausbeute kommt es auch mit fortschrittlichen Optimierungsalgorithmen, um optimale Dosierungen und Fokuseinstellungen zu gewährleisten. Das Gerät enthält eine Hochleistungselektronenquelle zur großflächigen Strukturierung und programmierbaren thermischen Feldern zur Vermeidung von Musterverzerrungen. Mark V ist mit modernster Photomasken-Verarbeitungstechnologie ausgestattet und kann für Anwendungen von LCDs über ultraskalierte Halbleiterschaltungen bis hin zu Halbleiterbauelementen der nächsten Generation eingesetzt werden. Die Maschine ist auch tragbar, so dass es ideal für Anwendungen in Produktionslinien. Darüber hinaus wird es durch eine IP44 Bewertung geschützt, die verhindert, dass Partikel, Staub und Flüssigkeiten in das Werkzeug gelangen. Schließlich profitiert es auch von fortschrittlichen Sicherheitsmaßnahmen, einschließlich Polsterschäden und Oxidationsschutz.