Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620464 zu verkaufen
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ID: 293620464
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2010
Coater / Developer system, 6"
Non-SMIF
Supply tank
Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz
1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist ein Photoresist-Gerät zur Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen für Halbleiter und Leiterplatten. Das System wurde entwickelt, um Bilder auf Substraten wie Silizium, Metall, Glas und Quarz schnell und präzise zu entwickeln. Es verwendet eine lasergetriebene transmissive Belichtungstechnik, die integrierte Schaltungen mit Merkmalsgrößen kleiner als ein Mikron herstellen kann. TEL Mark V verwendet einen Elektronenstrahlverdampfungsprozess, der in der Lage ist, Eigenschaften mit hohem Seitenverhältnis zu erzeugen. Dies wird erreicht, indem mittels einer fokussierten Laserdiode direkt Muster in eine Photolackschicht auf dem Substrat eingeschrieben werden. Die Belichtungseinheit besteht aus einem Belichtungsbett, optischen Komponenten und einem Controller zur genauen Einstellung der Intensität, Position und Dauer der Belichtung. Die Substrate sind auf einem rotierenden Belichtungsbett montiert, das eine effizientere Bildprogrammierung ermöglicht. Die Maschine ist auch mit hochmodernen Polier- und Ätzwerkzeugen ausgestattet. Diese Ausrüstung ermöglicht es dem Anwender, ein sehr gleichmäßiges Muster auf dem Substrat zu erzielen und eine gleichmäßige Oberflächengüte von Los zu Los zu erhalten. Das Werkzeug ist in der Lage, hochpräzise Ergebnisse bei gleichmäßiger Kristallstruktur und engen Maßtoleranzen zu erzielen. Dies ist auf die Verwendung einer erweiterten Auto-Fokus-Funktion zurückzuführen, die den Fokus der Lichtstrahlen während der Belichtung automatisch anpasst. Das Gerät enthält auch fortschrittliche Temperaturregelungsalgorithmen, die eine genaue Kontrolle der Resistschichttemperatur ermöglichen und eine optimale Auflösung ermöglichen. TOKYO ELECTRON MARK-V bietet eine verbesserte Benutzererfahrung durch fortschrittliche Software und eine intuitive grafische Benutzeroberfläche. Dies bietet Anwendern eine erhöhte Kontrolle und Produktivität innerhalb des Risikopositionsbestands. Das Modell wurde entwickelt, um eine breite Palette von Substratgrößen und -dicken sowie ultra-hohe Seitenverhältnisse zu unterstützen. Darüber hinaus bietet es erweiterte Netzwerk- und Remote-Überwachungsfunktionen, mit denen Benutzer über mehrere Standorte und Zeitzonen hinweg zusammenarbeiten können. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V ist sehr zuverlässig und soll Produktausfallzeiten minimieren. Dies ist aufgrund seiner Fähigkeit, von Fehlern durch externe Bedingungen oder Gerätefehler zu erholen. Das System verfügt außerdem über eine eingebaute Sicherheitsüberwachungseinheit, die die Maschine bei Störungen automatisch abschaltet.
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