Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293657043 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die in Lithographieverfahren bei der Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen eingesetzt wird. Das System umfasst einen Scanner, eine optische Einheit, eine Steuerung, eine Vakuumeinrichtung und eine Prozesskammer. TEL Mark V Scanner ist in der Lage Submikron Auflösung auf Substraten bis 200mm in der Größe zu liefern. Es ist mit einem Kohlendioxid-Laser für eine schnellere Bildgebung und höhere Genauigkeit ausgestattet. Die optische Maschine umfasst Spiegel, Linsen und Öffnungen zur Laserstrahlmanipulation. Die Steuerung ist für die Ausführung programmierbarer Bewegungen innerhalb der Kammer zuständig und kann zur Steuerung des Scannerkopfes und der Optik oder zur Zuführung von Substrat in die Bearbeitungskammer verwendet werden. Die Vakuumeinrichtung stellt die für den Betrieb des Werkzeugs erforderliche Niederdruckumgebung zur Verfügung. Sie ist in der Lage, einen Druckbereich von 1-3Pascals innerhalb der Bearbeitungskammer aufrechtzuerhalten. Die Prozesskammer wird für das Lithographieverfahren verwendet, bei dem der Laserstrahl auf das Substrat gerichtet und der Photoresist aufgebracht wird. Die Anlage kann innerhalb der Kammer erzeugte Temperaturen regulieren und ist mit einem Kühlmedium ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass der Photolack gleichmäßig über das Substrat verteilt ist und ein Brennen während der Belichtung verhindert. TOKYO ELECTRON MARK-V ist ein effektives Photolackmodell, das für den Einsatz in Lithographieverfahren geeignet ist. Es bietet branchenübliche Auflösung und Genauigkeit, wenn es bei der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen verwendet wird, und profitiert von fortschrittlicher optischer, Temperatur- und Drucksteuerung.