Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293759031 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine hochentwickelte Photoresist-Ausrüstung zur präzisen Strukturierung von Halbleiterbauelementen. Dieses System ist in der Lage, hochauflösende Muster verschiedener Formen und Größen auf Substraten zu erzeugen. Es ist eine sehr fortschrittliche Technologie, die fortschrittliche optische Systeme, hochpräzise automatisierte Stufen und präzise Robotik verwendet, um eine präzise Ausrichtung und Registrierung zu erreichen. Das Gerät ist hochpräzise, mit einer Positionswiederholbarkeit von 0,5 Mikrometern, einer Läppgenauigkeit von 0,5 Mikrometern und einer Kippgenauigkeit von 0,5 Mikrometern. Dadurch wird sichergestellt, dass auch bei mehreren Generationen exakte Muster und Formen erreicht werden können. Zusätzlich kann die Maschine mit Substraten bis zu 600 mm Durchmesser umgehen. Das Werkzeug ist mit einer vollautomatischen Präzision ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit der optischen Messeinrichtung ermöglicht, sodass präzise Messungen schnell und präzise durchgeführt werden können. Dieses Modell ermöglicht auch eine automatische Korrektur und Optimierung des Bildes basierend auf zuvor gemessenen Werten. Die Geräte sind so programmiert, dass sie eine Vielzahl von Aufgaben ausführen, einschließlich Maskierung, Belichtung und Entfernung. Bei der Maskierung wird ein das Substrat abdeckendes Photolackmaterial verwendet, das speziell dafür ausgelegt ist, das Erreichen des Substrats durch Licht zu verhindern. Die Belichtung ist ein Verfahren, bei dem die Maske einer bestimmten Lichtmenge ausgesetzt wird, um das chemisch empfindliche Material zu aktivieren, während die Entfernung das Entfernen der Maske ist, um das gewünschte Muster zu erhalten. TEL Mark V ist mit einem Laserschneidesystem zum Laserschneiden von strukturierten Merkmalen ausgestattet. Dies ermöglicht das hochpräzise Trimmen und Ätzen der Substrate, das Entfernen unerwünschter Merkmale aus dem Muster und die Erhöhung der Genauigkeit der Strukturierung. All diese Fähigkeiten machen TOKYO ELECTRON MARK-V zu einer extrem fortschrittlichen Photolackeinheit. Es gewährleistet hochgenaue Musterfähigkeiten und Wiederholbarkeit, so dass es ideal für verschiedene industrielle Anwendungen. Es ist in der Lage, hochauflösende Muster verschiedener Formen und Größen auf Substraten mit präziser Positionierung und Wiederholbarkeit zu erzeugen und eignet sich zur Herstellung von Halbleitern und anderen Präzisionsvorrichtungen.