Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293793330 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293793330
Weinlese: 1993
(1) Coater / (2) Developer system.
EMO Function
DEV Spin chuck
Coat spin chuck
IND Unit
ARM Carrier station
BU Unit
(3) Pins col
I/F Unit
Cooling plate temperature: 23 ± 0.2°C
Refrigerator
Utility check:
N2: 4.5 kgf/cm²
VAC: -73.3 kPa
CDA: 3.5 kgf/cm²
DIW: 1.0 kgf/cm²
Chill water: 3.0 kgf/cm²
AD Inner chamber pressure: ≤ 347 kPa
Power supply: 100/200 V ± 10%
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die für die hochauflösende Halbleiterphotomasenherstellung verwendet wird. Photolacksysteme werden verwendet, um Muster auf Wafer für den Einsatz in der Herstellung integrierter Schaltungen (IC) zu übertragen. TEL Mark V ist ein zuverlässiges Hochleistungssystem, das Präzision für die anspruchsvollsten Geräte des Marktes ermöglicht. TOKYO ELECTRON MARK-V ist mit einer High-Beam-Qualität von 1,2 nm gebaut und verfügt über eine Super High Readability (SHR) Monitor-Einheit, um die Genauigkeit der Prozesse über den gesamten Plattenmusterbereich zu gewährleisten. Es verfügt über ein anpassbares 15-Zoll-LCD-Touchscreen-Display, um eine außergewöhnliche Auflösung der Bilder zu erhalten. Die Maschinensteuerung widersteht Schichtdicke und isotroper Ätzrate durch eine umfassende Suite von Software und automatisierten Prozessen. Dazu gehören das Plasmaquellen-Verriegelungswerkzeug und das Inline-Monitoring, die Sicherheit und Produktivität erleichtern. TEL MARK-V eliminiert auch die Ungleichmäßigkeit der Säureätzraten durch die Smart PVT (Photo Lithography Temperature) mit Plasma-simulierter Ätzratenkontrolle. Dieses Modell passt die Wafertemperaturen an Temperatur- und Feuchtigkeitsänderungen an und steuert gleichzeitig den Plasmaenergiepegel beim Ätzen. Der Smart PVT ist dafür bekannt, weniger Musterkantenrauheit als herkömmliche Systeme zu erzeugen, was eine höhere Mustertreue ermöglicht. In den Bereichen Zeit- und Kosteneinsparung ist TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V mit dem Super Speed Step-and-Repeat (SSSR) Scanner und dem integrierten Resist Coater-Developer ausgestattet. Beide automatisierten Mechanismen reduzieren Zeit und Kosten von Aufträgen wie Filmverarbeitung bzw. Maskenausrichtung. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen hochzuverlässigen Photomasken-Entferner, um die manuelle Arbeit zu minimieren und so den Stress der häufigen Hardwarewartung zu verringern. Abschließend ist MARK-V ein ausgeklügeltes Photolacksystem für die High-End-IC-Fertigung. Das Gerät verfügt über Funktionen, die Präzision garantieren, wie seine High-Beam-Qualität, Smart PVT und SSSR und integrierte Resist Coater-Developer-Funktionen. Durch diese Funktionen können Anwender von mehr Maschinengenauigkeit und Kosteneinsparungen profitieren.
Es liegen noch keine Bewertungen vor