Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293793330 zu verkaufen

ID: 293793330
Weinlese: 1993
(1) Coater / (2) Developer system. EMO Function DEV Spin chuck Coat spin chuck IND Unit ARM Carrier station BU Unit (3) Pins col I/F Unit Cooling plate temperature: 23 ± 0.2°C Refrigerator Utility check: N2: 4.5 kgf/cm² VAC: -73.3 kPa CDA: 3.5 kgf/cm² DIW: 1.0 kgf/cm² Chill water: 3.0 kgf/cm² AD Inner chamber pressure: ≤ 347 kPa Power supply: 100/200 V ± 10% 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die für die hochauflösende Halbleiterphotomasenherstellung verwendet wird. Photolacksysteme werden verwendet, um Muster auf Wafer für den Einsatz in der Herstellung integrierter Schaltungen (IC) zu übertragen. TEL Mark V ist ein zuverlässiges Hochleistungssystem, das Präzision für die anspruchsvollsten Geräte des Marktes ermöglicht. TOKYO ELECTRON MARK-V ist mit einer High-Beam-Qualität von 1,2 nm gebaut und verfügt über eine Super High Readability (SHR) Monitor-Einheit, um die Genauigkeit der Prozesse über den gesamten Plattenmusterbereich zu gewährleisten. Es verfügt über ein anpassbares 15-Zoll-LCD-Touchscreen-Display, um eine außergewöhnliche Auflösung der Bilder zu erhalten. Die Maschinensteuerung widersteht Schichtdicke und isotroper Ätzrate durch eine umfassende Suite von Software und automatisierten Prozessen. Dazu gehören das Plasmaquellen-Verriegelungswerkzeug und das Inline-Monitoring, die Sicherheit und Produktivität erleichtern. TEL MARK-V eliminiert auch die Ungleichmäßigkeit der Säureätzraten durch die Smart PVT (Photo Lithography Temperature) mit Plasma-simulierter Ätzratenkontrolle. Dieses Modell passt die Wafertemperaturen an Temperatur- und Feuchtigkeitsänderungen an und steuert gleichzeitig den Plasmaenergiepegel beim Ätzen. Der Smart PVT ist dafür bekannt, weniger Musterkantenrauheit als herkömmliche Systeme zu erzeugen, was eine höhere Mustertreue ermöglicht. In den Bereichen Zeit- und Kosteneinsparung ist TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V mit dem Super Speed Step-and-Repeat (SSSR) Scanner und dem integrierten Resist Coater-Developer ausgestattet. Beide automatisierten Mechanismen reduzieren Zeit und Kosten von Aufträgen wie Filmverarbeitung bzw. Maskenausrichtung. Darüber hinaus verfügt das Gerät über einen hochzuverlässigen Photomasken-Entferner, um die manuelle Arbeit zu minimieren und so den Stress der häufigen Hardwarewartung zu verringern. Abschließend ist MARK-V ein ausgeklügeltes Photolacksystem für die High-End-IC-Fertigung. Das Gerät verfügt über Funktionen, die Präzision garantieren, wie seine High-Beam-Qualität, Smart PVT und SSSR und integrierte Resist Coater-Developer-Funktionen. Durch diese Funktionen können Anwender von mehr Maschinengenauigkeit und Kosteneinsparungen profitieren.
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