Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9033679 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine hochmoderne Photolackanlage zur Halbleiterherstellung. Es wurde entwickelt, um eine breite Palette von Photolackmaterialien zu handhaben, einschließlich sowohl chemisch amplifizierter als auch nicht chemisch amplifizierter Resistformulierungen. TEL Mark V System wurde optimiert, um überlegene Auflösung, überlegene Kante/Breite Leistung und überlegene Kantenplatzierung Genauigkeit zu bieten. Es ist auch so konzipiert, dass ein höherer Durchsatz pro Substrat möglich ist, was zu höheren Kosteneinsparungen führt. TOKYO ELECTRON MARK-V Einheit verwendet TEL Helios FT-IR spektroskopische Technologie, um die höchste Leistung zu erreichen, so dass es eine breite Palette von optischen Baugruppen und Substraten zu handhaben. Seine niedrige Temperaturregelung ermöglicht eine überlegene Ätzleistung und eine bessere Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat. Darüber hinaus bietet die Maschine ein integriertes mikrooptisches Rückverfolgbarkeitswerkzeug zur Optimierung der Bildgebung und der Kantenrauhigkeit sowie zur Echtzeitoptimierung von Dosis, Dosisgleichmäßigkeit und Ätzrate. Die Anlage ist mit einer Vielzahl von erweiterten Funktionen ausgestattet, so dass es ideal für hohe Erträge Produktion. Es verfügt über ein Hochgeschwindigkeits-Multiplexmodell zum Be- und Entladen von Substraten sowie zum Mustern und Ausrichten. Es verfügt auch über ein modulares Softwarepaket zur Steuerung verbleibender nicht photospezifischer Parameter wie Filmdicke und Brechungsindex. Aufgrund seiner Modularität ermöglicht die Ausrüstung die Hinzufügung zusätzlicher Funktionen, um einen noch größeren Durchsatz und Kosteneinsparungen zu erzielen. Das TEL MARK-V-System bietet auch eine automatisierte Schreibfeldausrichteinheit, die eine höhere Feldgenauigkeit und geringere Maschinenausfallzeiten ermöglicht. Die integrierte Prozesssteuerung e-Beam/Stepper ermöglicht eine außergewöhnliche Konnektivität und Optimierung zwischen den Werkzeugen Stepper und e-Beam. Die Maschine verfügt außerdem über ein integriertes e-Beam-basiertes Overlay und ein wässriges sauberes Werkzeug für schnelleres, wiederholbareres Ätzen. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V wurde entwickelt, um Photoresist-Prozesse mit höchster Leistung zu unterstützen. Seine robuste Technologie, sein breites Leistungsspektrum und seine hervorragende Konnektivität machen es zu einer idealen Wahl für die Halbleiterherstellung.