Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9111401 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Photolithographie-Prozesse in der Halbleiter- und hochentwickelten Verpackungsindustrie. Es verwendet ein vakuumbasiertes Trocknungssystem, das ein Vakuum nutzt, um Luft und Feuchtigkeit aus der Kammer abzupumpen, wodurch die Genauigkeit des Photolithographie-Prozesses erhöht wird. Das Gerät verfügt über eine Hochleistungs-Laserprojektionseinheit, die es ermöglicht, Lasermuster präzise auf ein Substrat mit hoher Auflösung zu projizieren. Es ist in der Lage, Klein- und Großfeldoperationen und mit einem breiten Spektrum von Laserwellenlängen für verschiedene Anwendungen zu unterstützen. TEL Mark V ist mit einer hochpräzisen Laserstrahl-Ausrichtmaschine ausgestattet, die in der Lage ist, Lasermuster für eine qualitativ hochwertige Produktion genau zu steuern. Es ist auch mit fortschrittlichen Vibrationskontrollsystemen für verbesserte Oberflächenglätte und Genauigkeit integriert. Das Werkzeug weist außerdem eine automatische Nivellierung auf, die in der Lage ist, eine relativ flache Oberfläche und wiederholbare Muster zu erzielen; dies ermöglicht eine verbesserte Prozesskonsistenz und Ertragsraten über längere Zeiträume. Das Modell ist auch in eine automatisierte Lasersteuerung integriert, die es Anwendern ermöglicht, die Frequenz der Laserpulse und die Projektionsrichtung für eine optimierte Verarbeitung einzustellen. Zur schichtweisen Korrektur und Kalibrierung ist ein mehrachsiges Motorsystem vorgesehen, das die Fähigkeiten des Photolithographieverfahrens verbessert. Um den physikalischen Kontakt zwischen dem Benutzer und der Einheit zu reduzieren, ist die Maschine mit einer programmierbaren Logikplatine integriert, die Befehle und voreingestellte Werte wie auf einer elektronischen Platine ausführen kann. Darüber hinaus ist das Tool in ein erweitertes Simulationsprogramm integriert, das die Korrektheit der Einstellungen überprüfen und die Gesamtleistung von TOKYO ELECTRON MARK-V vorab testen kann. Diese Funktion ermöglicht es den Benutzern, Prozessparameter zu identifizieren und anzupassen, bevor der eigentliche Prozess gestartet wird. Schließlich verfügt das Asset auch über ein Rückverfolgbarkeitsmanagementmodell, das jeden Schritt des Prozesses aufzeichnet und einen datenbasierten Prüfpfad während des gesamten Herstellungsprozesses bereitstellt.
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