Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9130725 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9130725
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
System, 6"
Left to Right
INDEXER 4 Cassette Stage (Uni-Cassette)
CONFIGURATION Main Body1 / Main Body2 / Chemical Cabinet
MAIN CONTROLLER NEC FC-9801X
C/S ROBOT TYPE Vacuum Arm / Ceramic Pincette
MAIN ROBOT TYPE 2 Pincette Arm
INDEXER Laser Diode Mapping Sensor
SCR JET Nozzle / Rinse Nozzle
COAT 4 Resist Nozzle / Bellows Pump
1 Gallon Resist Bottle / Thinner Local Supply (Canister)
EBR Nozzle / Back Rinse Nozzle
Local Drain (1ST SUS 10L Tank / Drain Pump)
DEV Nozzle Tyoe : Spray Nozzle
Rinse Nozzle / Back Rinse Nozzle
Facility Supply / Drain
WEE TEL Standard
CTV-410
AD TEL Standard
Local Supply (Canister)
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine hochentwickelte Photolackausrüstung, die von TEL (TOKYO ELECTRON Limited) für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das Photoresist System verfügt über proprietäre Technologie und besteht aus mehreren Kernkomponenten zu TEL Mark V Einheit. Die Kernkomponente der TOKYO ELECTRON MARK-V-Maschine ist die Photolackeinheit oder PRU. Es ist ein modernes, hochpräzises Werkzeug, das ausgefeilte optische Muster verwendet, um das Photolackmaterial genau auf das Halbleitersubstrat aufzubringen. Die Photoresist-Einheit verwendet eine patentierte Technologie, die in der Lage ist, ihre Steigung, Größe und Form genau einzustellen und eine Vielzahl von anspruchsvollen Beschichtungen aufzubringen. Das Gerät ist auch in der Lage, unter verschiedenen Temperatur-, Druck- und Umgebungsbedingungen zu arbeiten, um eine gleichmäßige und stabile Beschichtung zu erhalten. Diese Fähigkeit ermöglicht qualitativ hochwertige Ergebnisse für alle Arten von Photolackmaterialien. MARK-V asset verfügt auch über eine Reihe weiterer Komponenten, wie einen präzisen Hochgeschwindigkeits-Roboter zum Übertragen von Masken und Wafern, einen Hochgeschwindigkeits-Filmzuführer für die Handhabung von Substraten und ein nachgeteiltes Modell zum Ausrichten und Schneiden von Substraten in einzelne Stücke. Das Gerät umfasst auch einen Laserscanner zum genauen Lesen von Barcodes und Mustermarken sowie ein optisches Inspektionssystem, das verwendet wird, um die Genauigkeit der Filmregistrierung und -maskierung zu gewährleisten. Mit diesen Komponenten kann die Mark V-Einheit eine hohe Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit und Präzision für die professionelle Herstellung von Halbleiterprodukten bereitstellen. Darüber hinaus ermöglicht die Maschine eine verbesserte Ausbeute bei minimaler Verschmutzung und gleichmäßiger Beschichtungsqualität über viele verschiedene Substratgrößen hinweg. TEL/TOKYO ELECTRON Photoresist Tool ist auch in der Lage, bessere Umweltleistung zu bieten, indem die Menge der gefährlichen chemischen Abfälle während des Produktionsprozesses erzeugt. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V Asset reduziert auch den Stromverbrauch dank seines hocheffizienten optischen Modells, was zu einer besseren Energieeffizienz führt. Darüber hinaus trägt das Gerät dazu bei, die Gesamtkosten der Halbleiterproduktion zu senken, indem es den Substratdurchsatz verbessert, Ausschüsse minimiert und fehlerbedingte Schadenskosten reduziert. Als eines der fortschrittlichsten Photoresist-Systeme, die heute verfügbar sind, ist das TOKYO ELECTRON MARK V Photoresist-System eine ideale Lösung für Halbleiterprofis, die qualitativ hochwertige und konsistente Photoresist-Ergebnisse erzielen möchten. Die Kombination aus anspruchsvollen, präzisen Komponenten und effizienten Lösungen macht es zu einer hervorragenden Investition für diejenigen, die ihre Halbleiterproduktion optimieren möchten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor