Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9225994 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine Photoresist-Ausrüstung, die bei der Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen und anderen mikroelektronischen Bauelementen verwendet wird. Dieses System wurde entwickelt, um präzise Laminierpräzision und hochpräzise Beschichtung und Belichtungssteuerung zu bieten. Die Photolackeinheit umfasst eine Mikroprozessorsteuerungsmaschine, ein Vision-Tool und ein Array aus programmierbaren Ultraviolett- (UV) und optischen Belichtungsquellen. Der Mikroprozessor steuert die Laminierung und einheitliche Beschichtungsprozesse, Vision Asset und Belichtungseinstellungen und bietet dem Anwender die Möglichkeit, sowohl regelmäßige als auch Ad-hoc-Prozessanpassungen durchzuführen. Das Modell bietet eine breite Palette von Optionen für UV- und optische Belichtungsquellen für den Produktionsprozess. Dazu gehören 532nm und 1064nm Laserbelichtungsquellen, Excimer, ArF- und KrF-kompatible Belichtungsquellen und plattformgestützte mehrere Belichtungsquellen. Die Vision-Ausrüstung von TEL Mark V Photoresist-System bietet eine präzise Kontrolle der gesamten Film Gleichmäßigkeit und Homogenität. Zusätzlich verwendet das Gerät einen ultrafeinen Stepper, um eine hohe Substrat- und Schichtpräzision zu erreichen. TOKYO ELECTRON MARK-V Photoresist Maschine kann eine Vielzahl von Substraten einschließlich Silizium, Glas und Metall auch handhaben Strahl Schritt Anwendungen mit einer Mindestgröße von 5um. Es ist auch entworfen, um eine breite Palette von Produktionsprozessen einschließlich Ätzen, Musterdrucken und Schichtübertragung zu erleichtern. Das Werkzeug ist in der Lage, eine Reihe von Funktionen zur Verfügung zu stellen, die die Produktion effizienter machen sollen. Dazu gehören die Inline-Verarbeitung für die kontinuierliche Produktion, hohe Durchsätze, Musteroptimierung und Substratanpassungsfähigkeiten. Um einen präzisen Betrieb zu ermöglichen und die höchste Konsistenz zu gewährleisten, umfasst TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V photoresist Asset Prozesssteuerungsfunktionen wie Track Watch, automatische Kalibrierung sowie ein Visualisierungs- und Überwachungsmodell. Dieses Gerät bietet auch Alarmeinstellung, Datenerfassung, statistische Analyse und Unterstützung für mehrere Kommunikationsprotokolle. Insgesamt ist das MARK-V-Photoresist-System eine fortschrittliche Photoresist-Einheit, die zuverlässige, reproduzierbare und hochpräzise Beschichtung, Laminierung und Belichtungsleistung bereitstellt. Das integrierte Vision-Tool der Maschine sowie das breite Spektrum an Belichtungsquellen und intelligente Prozesssteuerungsfunktionen machen es für Produktionsumgebungen geeignet, die präzise und zuverlässige Ergebnisse erfordern.