Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226212 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment ist ein integriertes, halbautomatisches System, das für Lithographieverfahren eingesetzt werden kann. Es ist so konzipiert, dass sowohl genaues Spenden als auch exaktes Belichten von Photolack hochauflösende Muster auf Wafern zur Herstellung von mikroelektronischen Geräten in größerem Maßstab erzeugt. Die Einheit besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten: einer Hauptkonsole, einer Detektorkopfbaugruppe, einer Belichtungseinheit und einer Wafer Alignment Machine (WAS). Die Hauptkonsole ist das Herzstück des Tools und bietet sowohl eine Schnittstelle zur Steuerung des Assets als auch zur Anzeige des Status und der Ergebnisse der Operationen. Die Hauptkonsole beherbergt auch das Fluidliefermodell, das verwendet wird, um Photoresist und andere Flüssigkeiten während der Lithographie-Prozesse genau in die Ausrüstung abzugeben. Die Detektorkopfanordnung ist der Mechanismus, der den Wafer auf die Belichtungseinheit zu und von dieser weg bewegt, und sorgt dafür, dass der Wafer korrekt auf die Optik der Belichtungseinheit ausgerichtet ist. Die Belichtungseinheit ist dafür verantwortlich, die Muster mit einem programmierbaren Laser auf den Wafer zu projizieren, während das WAS der Mechanismus ist, mit dem der Detektor Fehlstellungen zwischen dem Photoresist, dem Laser und dem Wafer selbst detektiert, wodurch Korrekturen vorgenommen werden können. Das System verwendet auch eine Feedback-Einheit, die zusammen mit dem WAS dazu beiträgt, dass sowohl die Belichtungs- als auch die Abgabeoperationen mit höchster Präzision durchgeführt werden. Die Rückkopplungsmaschine besteht aus mehreren Detektoren, die in der Nähe der Photolackausgabedüse, des Lasers und des Wafers angeordnet sind. Diese Detektoren messen den Widerstand des Photolacks und erfassen auch die tatsächliche Belichtungszeit und den Laserstrom. Dieses Feedback hilft, die Genauigkeit und Qualität der Lithographie-Prozesse zu garantieren. Darüber hinaus nutzt TEL Mark V mehrere Sicherheitsmerkmale, wie ein Not-Aus-Tool, ein Verriegelungssicherheitssystem und eine kamerabasierte Präsenzerkennung, um sicherzustellen, dass der Wafer in der richtigen Position ist, bevor der Belichtungsprozess beginnen kann. Alles in allem ist TOKYO ELECTRON MARK-V Photoresist Model ein leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung präziser Muster auf Wafern mit hoher Präzision. Mit seiner genauen Abgabeausrüstung, seinem programmierbaren Laser, dem Rückkopplungssystem und den Sicherheitsmerkmalen ist das Gerät in der Lage, zuverlässige und konsistente Ergebnisse für die Herstellung von mikroelektronischen Geräten in größerem Maßstab zu liefern.